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儀景通(tòng)Evident
RameHart
Comet（Feinfocus） X-Ray
View Engineering
Smatech
VEGARAY 桌(zhuō)上(shàng)型X-RAY
AXSYS
YCT
Buehler
ISP SEM电子扫描鏡(jìng)
 

地(dì)址：江蘇省无锡(xī)新(xīn)區(qū)菱湖(hú)大(dà)道(dào)111号(hào)软(ruǎn)件(jiàn)園(yuán)天(tiān)鵝座C座17层(céng)（无锡(xī)）

全(quán)國(guó)免費热(rè)線(xiàn)：400-000-9732
电 話(huà)：0510-88239732；88554683；88558709
傳 真(zhēn)：0510-88239731
邮(yóu) 編：214112
聯系人(rén)：王先(xiān)生(shēng)
手(shǒu) 機(jī)：13961741702 13601489565
网(wǎng) 址：m.spjj58.com

 地(dì)址： 上(shàng)海(hǎi)黃浦區(qū)广東(dōng)路(lù)600号(hào)世界貿易大(dà)廈910室(shì)（上(shàng)海(hǎi)）

电 話(huà)：021-33766501；33766502
傳 真(zhēn)：021-33766507
QQ：954165837
 
 
YCT高(gāo)精度多(duō)功能晶圆(yuán)量(liàng)測儀MFM-3000A
産品概要(yào)

高(gāo)精度多(duō)功能晶圆(yuán)量(liàng)測儀MFM-3000A

 

 

 

 

光(guāng)學(xué)检測:

  • 高(gāo)速/非(fēi)接觸光(guāng)學量(liàng)測
  • 奈米(mǐ)深度3D檢測
  • 表(biǎo)面(miàn)形貌/粗(cū)糙度分(fēn)析
  • 非(fēi)透明(míng)材質/透明(míng)材質形貌分(fēn)析
  • 1μm透明(míng)膜厚度量(liàng)測
  • 多(duō)層膜厚度量(liàng)測
  • 總厚度量(liàng)測

 

 

 

表(biǎo)面(miàn)輪廓掃描模組 1.量(liàng)測點大(dà)小隨著遠離焦面(miàn)而(ér)變大(dà)。
            公(gōng)式:D=(A+L*tan(R))*2 單位:μm
            D為離焦束(shù)徑大(dà)小,A為量(liàng)測焦點半徑,L離焦距離,R=1.29°
2.此(cǐ)規格量(liàng)測產品為標準片(piàn)於標準實驗室(shì),如(rú)果(guǒ)環境干(gàn)擾或(huò)產品本(běn)身(shēn)汙損,缺角(jiǎo),不(bù)均勻…等異常則會造成量(liàng)測值變異。
3.工作(zuò)距離與物(wù)鏡工作(zuò)距離有(yǒu)關。
4.橫向(xiàng)解(jiě)析度與光(guāng)源波(bō)長有(yǒu)關。
5.干(gàn)涉物(wù)鏡搭配1.0X鏡筒倍率的(de)視野範圍。
*所(suǒ)有(yǒu)規格如(rú)有(yǒu)變更(gèng)，恕不(bù)另行通(tòng)知。

量(liàng)測軟體 iScan3D 
光(guāng)源  白(bái)光(guāng)LED 
光(guāng)源中(zhōng)心(xīn)波(bō)長  550 nm 
奈米(mǐ)掃描模組  0.001~100 μm
深度量(liàng)測範圍  (400 μm選配) 
奈米(mǐ)掃描模組  ≦0.1 % (量(liàng)測高(gāo)度: >10 μm)
重(zhòng)複精度² ≦10 nm (量(liàng)測高(gāo)度: 1~10 μm)
　 ≦5 nm (量(liàng)測高(gāo)度: <1 μm) 
微米(mǐ)掃描模組深度量(liàng)測範圍  0.1~2000 μm 
微米(mǐ)掃描模組重(zhòng)複精度² 0.1 μm 

 

 

多(duō)層膜測厚模組 單層薄膜量(liàng)測模組


NT040-sensor

 

 

 

 

 
量(liàng)測軟體 iProbe 

FTM-sensor

 

 

 

 

 
量(liàng)測軟體 iProbe 
量(liàng)測總厚度 15~1000 μm  量(liàng)測厚度 1~50 μm 
量(liàng)測焦點大(dà)小¹  40 μm  量(liàng)測焦點大(dà)小¹ 40 μm 
工作(zuò)距離 39±1 mm  工作(zuò)距離 25±1 mm 
光(guāng)源中(zhōng)心(xīn)波(bō)長  0.85 μm  光(guāng)源中(zhōng)心(xīn)波(bō)長  550 nm 
空間解(jiě)析度  5.3 μm  空間解(jiě)析度 0.5 μm 
量(liàng)測解(jiě)析度 0.35 μm  量(liàng)測解(jiě)析度 0.3 μm 
單層重(zhòng)複精度² ±0.01× 單層厚度(單層厚度>50 μm) 重(zhòng)複精度² ±0.25μm 
(Dummy試片(piàn))  ±0.5 (單層厚度≦50 μm)

 

 

 

 

 

 ——无锡(xī)世邁科技检測系统解(jiě)決方(fāng)案(àn)——
无锡(xī)世邁科技为(wèi)您提(tí)供奧林(lín)巴斯工業显微鏡(jìng)設備及(jí)配件(jiàn)，适應(yìng)新(xīn)産品、新(xīn)工藝需求的(de)設備。
热(rè)線(xiàn)电話(huà)：13601489565
官网(wǎng)网(wǎng)址：http://m.spjj58.com
邮(yóu)箱(xiāng)：sally_sheng@m.spjj58.com


 
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