晶圆(yuán)（切(qiè)割後(hòu)）检查機(jī)SI系列

升(shēng)级奧林(lín)巴斯显微鏡(jìng)擁有(yǒu)符合E142晶圆(yuán)图(tú)的(de)自(zì)動(dòng)搬運系统

優點(diǎn)

针对(duì)奧林(lín)巴斯MX和(hé)BXFM系列显微鏡(jìng)的(de)无縫整合 

针对(duì)铁(tiě)圈料盒的(de)自(zì)動(dòng)搬運系统,适用(yòng)于(yú)16英寸(cùn)即440毫(háo)米(mǐ)晶圆(yuán)铁(tiě)圈的(de)可(kě)編程电動(dòng)工作(zuò)台(tái)

图(tú)形化(huà)的(de)用(yòng)戶操作(zuò)界面(miàn)，可(kě)編輯的(de)晶圆(yuán)图(tú)及(jí)不(bù)良産品代(dài)碼登記(jì)系统

使用(yòng)RFID系统甄别料盒並(bìng)且(qiě)自(zì)動(dòng)读(dú)取(qǔ)晶圆(yuán)編碼

自(zì)動(dòng)打(dǎ)墨(mò)點(diǎn)裝(zhuāng)置

符合SEMI E142的(de)晶圆(yuán)图(tú)系统

SECSII/GEMS 标(biāo)準的(de)通(tòng)訊協議