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儀景通(tòng)Evident測量(liàng)显微鏡(jìng)STM7-LF
産品概要(yào)

STM7显微鏡(jìng)多(duō)用(yòng)途性(xìng),能够實(shí)現(xiàn)对(duì)零(líng)部(bù)件(jiàn)和(hé)电气(qì)組件(jiàn)的(de)三(sān)軸測量(liàng)。无論待測样品是(shì)大(dà)的(de)還(huán)是(shì)小的(de),測量(liàng)內(nèi)容是(shì)簡單的(de)還(huán)是(shì)複雜的(de),儀景通(tòng)STM7系列就(jiù)是(shì)能滿足您需求的(de)測量(liàng)显微鏡(jìng)産品。

  • STM7 通(tòng)过(guò)整合光(guāng)學(xué)显微鏡(jìng)和(hé)實(shí)現(xiàn)測量(liàng)
  • STM7在(zài)設計(jì)上(shàng)非(fēi)常關(guān)注易用(yòng)性(xìng)
  • 自(zì)動(dòng)聚焦系统具有(yǒu)很高(gāo)的(de)重(zhòng)複性(xìng)
  • 擴宽(kuān)觀察與(yǔ)測量(liàng)範圍的(de)配件(jiàn)
  • 實(shí)現(xiàn)測量(liàng)系统

STM7 通(tòng)过(guò)整合光(guāng)學(xué)显微鏡(jìng)和(hé)實(shí)現(xiàn)測量(liàng)  



STM7系列采用(yòng)了UIS2无限遠(yuǎn)校(xiào)正(zhèng)光(guāng)學(xué)系统。因(yīn)此(cǐ),觀察到(dào)的(de)图(tú)像有(yǒu)高(gāo)分(fēn)辨率和(hé)高(gāo)对(duì)比度,此(cǐ)外(wài),像差也(yě)被(bèi)完全(quán)消除,以(yǐ)确保實(shí)現(xiàn)对(duì)微小细(xì)节的(de)測量(liàng)。 
 

明(míng)场(chǎng)图(tú)像
明(míng)场(chǎng)图(tú)像
暗(àn)场(chǎng)图(tú)像
暗(àn)场(chǎng)图(tú)像
微分(fēn)干(gàn)涉图(tú)像
微分(fēn)干(gàn)涉图(tú)像
偏光(guāng)图(tú)像
偏光(guāng)图(tú)像











花(huā)崗岩载(zài)物(wù)台(tái)基座增強(qiáng)了測量(liàng)的(de)可(kě)靠性(xìng)

FEM分(fēn)析
STM7-LF FEM 分(fēn)析

STM7系列采用(yòng)了一(yī)个(gè)配備花(huā)崗岩基座的(de)鏡(jìng)架。由(yóu)于(yú)花(huā)崗岩的(de)高(gāo)稳定(dìng)性(xìng),使測量(liàng)可(kě)到(dào)达(dá)亞微米(mǐ)水(shuǐ)平,同(tóng)时(shí)确保降低(dī)誤差。







繼續提(tí)供簡單易操作(zuò)的(de)3軸測量(liàng)

跟蹤对(duì)焦光(guāng)路(lù)
主(zhǔ)動(dòng)反(fǎn)射,共聚焦自(zì)動(dòng)聚焦系统光(guāng)路(lù)

不(bù)仅是(shì)XY軸平面(miàn)的(de)測量(liàng),而(ér)且(qiě)Z軸方(fāng)向(xiàng)的(de)測量(liàng)也(yě)成为(wèi)必須。






可(kě)追溯系统

可(kě)追溯系统图(tú)
測量(liàng)显微鏡(jìng)溯源系统

在(zài)安(ān)裝(zhuāng)系统时(shí)儀景通(tòng)也(yě)提(tí)供了可(kě)追溯的(de)校(xiào)準服務(wù)。

STM7在(zài)設計(jì)上(shàng)易用(yòng)性(xìng) 

提(tí)供适合您样品尺寸(cùn)的(de)载(zài)物(wù)台(tái)


常見(jiàn)問(wèn)題(tí)

  • 短測量(liàng)行程无法(fǎ)滿足較大(dà)样品的(de)測量(liàng)需求。 
     
  • 大(dà)型载(zài)物(wù)台(tái)在(zài)X軸方(fāng)向(xiàng)提(tí)供了足够的(de)測量(liàng)行程,但是(shì)Y軸的(de)行程仍然較小。在(zài)測量(liàng)过(guò)程中(zhōng)需要(yào)通(tòng)过(guò)旋轉(zhuǎn)样品来(lái)補偿比X軸覆蓋範圍要(yào)短的(de)Y軸行程,这样的(de)做法(fǎ)費事(shì)費时(shí),效率不(bù)高(gāo)。 
     
  • 由(yóu)于(yú)可(kě)測量(liàng)的(de)範圍窄(zhǎi),无法(fǎ)将數量(liàng)較多(duō)的(de)样品排列在(zài)载(zài)物(wù)台(tái)上(shàng),以(yǐ)實(shí)現(xiàn)同(tóng)时(shí)測量(liàng)。

STM7解(jiě)決方(fāng)案(àn)

  • 共有(yǒu)四(sì)種(zhǒng)正(zhèng)方(fāng)形測量(liàng)行程的(de)载(zài)物(wù)台(tái)可(kě)供選用(yòng)(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100�mm, 200 mm x 200 mm, 和(hé)300 mm x 300 mm)。 不(bù)管(guǎn)是(shì)大(dà)的(de)样品還(huán)是(shì)小的(de)样品,總(zǒng)有(yǒu)一(yī)款载(zài)物(wù)台(tái)会(huì)适合您要(yào)測量(liàng)的(de)样品。 
     
  • 采用(yòng)離合器系统可(kě)以(yǐ)在(zài)粗(cū)調和(hé)微調之(zhī)間(jiān)實(shí)現(xiàn)快速切(qiè)換。具備了这種(zhǒng)切(qiè)換功能之(zhī)後(hòu),载(zài)物(wù)台(tái)也(yě)可(kě)以(yǐ)沿着X軸和(hé)Y軸方(fāng)向(xiàng)迅速移動(dòng),並(bìng)且(qiě)可(kě)以(yǐ)在(zài)XY平面(miàn)上(shàng)自(zì)由(yóu)穿梭。 
     
  • 300 mm长(cháng)的(de)方(fāng)形载(zài)物(wù)台(tái)在(zài)X軸和(hé)Y軸方(fāng)向(xiàng)上(shàng)可(kě)以(yǐ)提(tí)供相同(tóng)的(de)測量(liàng)行程,这意(yì)味着可(kě)以(yǐ)不(bù)旋轉(zhuǎn)样品就(jiù)實(shí)現(xiàn)大(dà)型样品的(de)全(quán)部(bù)測量(liàng),比如(rú)300 mm的(de)晶圆(yuán)和(hé)印(yìn)刷电路(lù)闆。 

 

stm7_50mm_stage_stmm7-CS50
STM7-CS50 
50mm x 50mm
stm7_100mm_stage_stmm7-CS100
STM7-CS100 
100mm x 100mm
stm7_50mm_stage_stmm7-CS200
STM7-CS200 
200 mm x 200 mm
50mm_stage_stmm7-CS300
STM7-CS300 
300 mm x 300 mm














使用(yòng)相同(tóng)的(de)显微鏡(jìng)進(jìn)行低(dī)倍率和(hé)高(gāo)倍率觀察 


常見(jiàn)問(wèn)題(tí)

  • 大(dà)部(bù)分(fēn)傳统的(de)測量(liàng)显微鏡(jìng)只(zhī)可(kě)以(yǐ)用(yòng)測量(liàng)物(wù)鏡(jìng)或(huò)用(yòng)金(jīn)相物(wù)鏡(jìng),无法(fǎ)同(tóng)时(shí)滿足多(duō)種(zhǒng)觀察要(yào)求。

STM7解(jiě)決方(fāng)案(àn)

  • STM7可(kě)以(yǐ)通(tòng)过(guò)安(ān)裝(zhuāng)一(yī)个(gè)測量(liàng)物(wù)鏡(jìng)适配器使用(yòng)測量(liàng)物(wù)鏡(jìng),而(ér)更(gèng)換为(wèi)物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)盤後(hòu),便可(kě)使用(yòng)金(jīn)相物(wù)鏡(jìng)。这意(yì)味着, STM7将金(jīn)相光(guāng)學(xué)系统和(hé)測量(liàng)光(guāng)學(xué)系统同(tóng)时(shí)結合在(zài)一(yī)台(tái)測量(liàng)显微鏡(jìng)中(zhōng)。通(tòng)过(guò)这種(zhǒng)方(fāng)式,无論是(shì)測量(liàng)大(dà)型样品還(huán)是(shì)样品,或(huò)是(shì)表(biǎo)面(miàn)高(gāo)度差异(yì)大(dà)的(de)样品,STM7系列都可(kě)以(yǐ)对(duì)應(yìng)並(bìng)協助用(yòng)戶選擇觀察方(fāng)法(fǎ)。

測量(liàng)物(wù)鏡(jìng)

 

由(yóu)于(yú)測量(liàng)物(wù)鏡(jìng)有(yǒu)长(cháng)的(de)工作(zuò)距離,因(yīn)此(cǐ)可(kě)以(yǐ)在(zài)对(duì)表(biǎo)面(miàn)起(qǐ)伏較大(dà)的(de)样品進(jìn)行聚焦的(de)时(shí)候,无需擔心(xīn)物(wù)鏡(jìng)與(yǔ)样品之(zhī)間(jiān)發(fà)生(shēng)接觸。此(cǐ)外(wài),借(jiè)助測量(liàng)物(wù)鏡(jìng)的(de)低(dī)倍率能力,可(kě)以(yǐ)觀察到(dào)較大(dà)的(de)視场(chǎng)。

金(jīn)相物(wù)鏡(jìng)


明(míng)场(chǎng)图(tú)像


明(míng)场(chǎng)图(tú)像

在(zài)明(míng)场(chǎng)觀察之(zhī)外(wài)還(huán)可(kě)以(yǐ)对(duì)應(yìng)暗(àn)场(chǎng),偏光(guāng)和(hé)微分(fēn)干(gàn)涉觀察。

手(shǒu)動(dòng)調焦和(hé)电動(dòng)調焦两(liǎng)種(zhǒng)鏡(jìng)架可(kě)供選擇

STM7系列包(bāo)括手(shǒu)動(dòng)調焦和(hé)电動(dòng)調焦两(liǎng)个(gè)系列

聚焦控制提(tí)供手(shǒu)動(dòng)型和(hé)电動(dòng)型两(liǎng)種(zhǒng)可(kě)選方(fāng)案(àn)。請根(gēn)據(jù)样品和(hé)測量(liàng)內(nèi)容選擇符合您需求的(de)機(jī)型,而(ér)不(bù)需要(yào)考慮载(zài)物(wù)台(tái)的(de)尺寸(cùn)。所(suǒ)有(yǒu)的(de)鏡(jìng)架均內(nèi)置Z軸線(xiàn)性(xìng)标(biāo)尺,各(gè)種(zhǒng)型号(hào)STM7都可(kě)以(yǐ)对(duì)應(yìng)3軸測量(liàng)。

手(shǒu)動(dòng)Z軸調焦機(jī)型

通(tòng)过(guò)操作(zuò)調焦旋鈕,可(kě)以(yǐ)快速的(de)上(shàng)下(xià)移動(dòng)Z軸。为(wèi)測量(liàng)有(yǒu)各(gè)種(zhǒng)高(gāo)度样品的(de)用(yòng)戶提(tí)供了方(fāng)便。

电動(dòng)Z軸調焦機(jī)型


使用(yòng)电動(dòng)調焦裝(zhuāng)置可(kě)以(yǐ)提(tí)高(gāo)操作(zuò)性(xìng),並(bìng)減少(shǎo)了進(jìn)行聚焦和(hé)高(gāo)度測量(liàng)时(shí)的(de)操作(zuò)疲勞。粗(cū)微調焦的(de)同(tóng)軸旋鈕設計(jì)使使用(yòng)者(zhě)可(kě)以(yǐ)以(yǐ)习慣的(de)類(lèi)似手(shǒu)動(dòng)的(de)方(fāng)式進(jìn)行操作(zuò),同(tóng)时(shí)电動(dòng)機(jī)型還(huán)可(kě)以(yǐ)配備自(zì)動(dòng)聚焦單元(yuán)。

控制單元(yuán)提(tí)升(shēng)了測量(liàng)显微鏡(jìng)的(de)操作(zuò)性(xìng)

常見(jiàn)問(wèn)題(tí)

  • 其(qí)他(tā)功能需要(yào)添置額外(wài)的(de)操作(zuò)單元(yuán)。操作(zuò)者(zhě)无法(fǎ)快速找到(dào)相應(yìng)的(de)操作(zuò)單元(yuán),因(yīn)而(ér)降低(dī)測量(liàng)效率。 
     
  • 衆多(duō)操作(zuò)裝(zhuāng)置和(hé)电源箱(xiāng)、控制箱(xiāng)散(sàn)布(bù)在(zài)主(zhǔ)機(jī)的(de)周圍,占用(yòng)了寶(bǎo)貴的(de)工作(zuò)空間(jiān)。

STM7解(jiě)決方(fāng)案(àn)

操作(zuò)裝(zhuāng)置

对(duì)于(yú)STM7系列,只(zhī)要(yào)使用(yòng)操作(zuò)裝(zhuāng)置能够執行几乎所(suǒ)有(yǒu)的(de)測量(liàng)显微鏡(jìng)操作(zuò),包(bāo)括重(zhòng)置計(jì)數器、照明(míng)控制、調焦和(hé)自(zì)動(dòng)聚焦等功能。为(wèi)了提(tí)高(gāo)效率和(hé)方(fāng)便性(xìng),您可(kě)以(yǐ)将裝(zhuāng)置放在(zài)位置,並(bìng)可(kě)以(yǐ)操作(zuò)。

控制箱(xiāng)

手(shǒu)動(dòng)系统開(kāi)關(guān)
用(yòng)于(yú)手(shǒu)動(dòng)Z軸調焦機(jī)型: 
STM7-HS手(shǒu)動(dòng)操作(zuò)裝(zhuāng)置
电動(dòng)系统控制單元(yuán)
用(yòng)于(yú)电動(dòng)Z軸調焦機(jī)型: 
STM7-MCZ电動(dòng)操作(zuò)裝(zhuāng)置

各(gè)个(gè)單元(yuán)的(de)电源和(hé)通(tòng)信(xìn)均被(bèi)集成在(zài)一(yī)个(gè)控制箱(xiāng)中(zhōng)。即使是(shì)添加一(yī)些(xiē)可(kě)選功能比如(rú)聚焦導航功能也(yě)不(bù)需要(yào)增加額外(wài)的(de)电源裝(zhuāng)置,这样的(de)設計(jì)可(kě)以(yǐ)減少(shǎo)占用(yòng)工作(zuò)空間(jiān)。

提(tí)高(gāo)了觀察和(hé)測量(liàng)效率的(de)光(guāng)源管(guǎn)理(lǐ)器

常見(jiàn)問(wèn)題(tí)

  • 傳统測量(liàng)显微鏡(jìng)使用(yòng)的(de)模拟旋鈕調节方(fāng)式不(bù)能實(shí)現(xiàn)光(guāng)強(qiáng)的(de)定(dìng)量(liàng)控制。 这样每次(cì)測量(liàng)时(shí)的(de)光(guāng)強(qiáng)无法(fǎ)保持(chí)一(yī)致(zhì),導致(zhì)測量(liàng)值也(yě)發(fà)生(shēng)變(biàn)化(huà)。 
     
  • 使用(yòng)傳统測量(liàng)显微鏡(jìng)时(shí),每次(cì)切(qiè)換物(wù)鏡(jìng)後(hòu)都需要(yào)調节光(guāng)強(qiáng),这使得工作(zuò)流程低(dī)效。

STM7解(jiě)決方(fāng)案(àn)

能够定(dìng)量(liàng)掌握光(guāng)源亮(liàng)度的(de)數字式显示

光(guāng)強(qiáng)显示器STM7的(de)光(guāng)強(qiáng)可(kě)定(dìng)量(liàng)显示,这样就(jiù)能保證在(zài)相同(tóng)条(tiáo)件(jiàn)下(xià)實(shí)施觀察和(hé)測量(liàng)。


物(wù)鏡(jìng)切(qiè)換时(shí),无需手(shǒu)動(dòng)調节光(guāng)強(qiáng)


光(guāng)強(qiáng)度管(guǎn)理(lǐ)器可(kě)以(yǐ)與(yǔ)編碼物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)盤配置配套(tào)使用(yòng)。带(dài)編碼物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)盤会(huì)自(zì)動(dòng)識别目前(qián)使用(yòng)的(de)物(wù)鏡(jìng),結合光(guāng)源管(guǎn)理(lǐ)器的(de)預設值功能,可(kě)以(yǐ)为(wèi)每个(gè)物(wù)鏡(jìng)注册(cè)照明(míng)方(fāng)式和(hé)光(guāng)強(qiáng)。这样每當切(qiè)換物(wù)鏡(jìng)後(hòu),可(kě)以(yǐ)自(zì)動(dòng)調节光(guāng)強(qiáng)和(hé)調整照明(míng)方(fāng)式。象(xiàng)以(yǐ)前(qián)每次(cì)切(qiè)換倍率後(hòu)手(shǒu)動(dòng)調节光(guāng)強(qiáng)的(de)操作(zuò),現(xiàn)在(zài)就(jiù)可(kě)以(yǐ)省略了。 


light_manager_x5_image   

5x物(wù)鏡(jìng)光(guāng)強(qiáng) 50


stm7_light_manager_x20_image

20x物(wù)鏡(jìng)光(guāng)強(qiáng) 70


light_manager_x100_image
100x物(wù)鏡(jìng)光(guāng)強(qiáng) 120

可(kě)拆卸計(jì)數器,能检查測量(liàng)結果(guǒ)和(hé)設備狀态。

常見(jiàn)問(wèn)題(tí)

  • 需要(yào)检查諸如(rú)照明(míng)狀态等設備運行狀以(yǐ)及(jí)測量(liàng)結果(guǒ)时(shí),因(yīn)为(wèi)是(shì)在(zài)不(bù)同(tóng)單元(yuán)上(shàng)显示使操作(zuò)變(biàn)得繁琐。


STM7解(jiě)決方(fāng)案(àn)

計(jì)數器

計(jì)數器带(dài)有(yǒu)显示設備狀态和(hé)設置的(de)指示燈(dēng),可(kě)以(yǐ)簡單的(de)實(shí)現(xiàn)对(duì)設備當前(qián)設定(dìng)狀态的(de)确認。X、Y和(hé)Z軸的(de)單位可(kě)以(yǐ)在(zài)0.1 μm和(hé)1 μm之(zhī)間(jiān)切(qiè)換,此(cǐ)外(wài),還(huán)可(kě)以(yǐ)在(zài)毫(háo)米(mǐ)、微米(mǐ)、英寸(cùn)和(hé)密耳(ěr)之(zhī)間(jiān)切(qiè)換显示單位。

可(kě)拆卸式計(jì)數器

无論是(shì)安(ān)裝(zhuāng)在(zài)鏡(jìng)架上(shàng)還(huán)是(shì)放置在(zài)工作(zuò)台(tái)上(shàng),可(kě)拆卸式計(jì)數器都可(kě)以(yǐ)根(gēn)據(jù)用(yòng)戶的(de)使用(yòng)狀況和(hé)使用(yòng)习慣放置位置。當用(yòng)戶站着進(jìn)行測量(liàng)时(shí),可(kě)以(yǐ)将計(jì)數器安(ān)裝(zhuāng)在(zài)和(hé)觀察位置大(dà)致(zhì)相同(tóng)高(gāo)度的(de)鏡(jìng)架一(yī)侧,以(yǐ)方(fāng)便輕(qīng)松的(de)觀察和(hé)检查結果(guǒ)。當用(yòng)戶通(tòng)过(guò)數碼相機(jī)在(zài)显示器上(shàng)進(jìn)行觀察和(hé)測量(liàng),或(huò)使用(yòng)电動(dòng)Z軸調焦機(jī)型时(shí),只(zhī)需将計(jì)數器和(hé)操作(zuò)裝(zhuāng)置放在(zài)工作(zuò)台(tái)上(shàng)即可(kě)進(jìn)行作(zuò)業。

显微鏡(jìng)上(shàng)測量(liàng)結果(guǒ)显示器
計(jì)數器安(ān)裝(zhuāng)在(zài)鏡(jìng)架上(shàng) 
 

工作(zuò)台(tái)上(shàng)測量(liàng)結果(guǒ)显示器

計(jì)數器放置在(zài)工作(zuò)台(tái)上(shàng)

自(zì)動(dòng)聚焦系统重(zhòng)複性(xìng)

常見(jiàn)問(wèn)題(tí)

  • 進(jìn)行目視測量(liàng)时(shí),不(bù)同(tóng)的(de)操作(zuò)者(zhě)会(huì)測得不(bù)同(tóng)的(de)高(gāo)度測量(liàng)值。此(cǐ)外(wài),这種(zhǒng)測量(liàng)方(fāng)法(fǎ)耗时(shí),效率低(dī)下(xià)。

STM7解(jiě)決方(fāng)案(àn)

聚焦系统

通(tòng)过(guò)将图(tú)案(àn)投影在(zài)視场(chǎng)範圍內(nèi),由(yóu)操作(zuò)者(zhě)确認上(shàng)下(xià)图(tú)案(àn)的(de)重(zhòng)合情(qíng)況,儀景通(tòng)的(de)聚焦導航系统實(shí)現(xiàn)了重(zhòng)複性(xìng)高(gāo)的(de)高(gāo)度測量(liàng)操作(zuò)。普通(tòng)的(de)目測觀察進(jìn)行高(gāo)度測量(liàng)时(shí),即使是(shì)看(kàn)上(shàng)去非(fēi)常清(qīng)晰的(de)已经完全(quán)合焦的(de)图(tú)像,也(yě)会(huì)出(chū)現(xiàn)微小誤差。而(ér)使用(yòng)STM7的(de)聚焦導航系统,只(zhī)需匹(pǐ)配标(biāo)記(jì)便可(kě)進(jìn)行測量(liàng),因(yīn)此(cǐ)減少(shǎo)了操作(zuò)者(zhě)的(de)主(zhǔ)觀性(xìng)对(duì)測量(liàng)結果(guǒ)造成的(de)影響。

目視高(gāo)度測量(liàng) 
目視測量(liàng)結果(guǒ)差异(yì)

聚焦導航系统 
focus_navigator_front_focus_area
焦點(diǎn)下(xià)方(fāng)

聚焦導航焦點(diǎn)
焦點(diǎn)位置

focus_navigator_rear_focus_area
焦點(diǎn)上(shàng)方(fāng)


















自(zì)動(dòng)聚焦的(de)高(gāo)度測量(liàng)

常見(jiàn)問(wèn)題(tí)

  • 進(jìn)行目視測量(liàng)时(shí),不(bù)同(tóng)的(de)操作(zuò)者(zhě)得出(chū)的(de)高(gāo)度測量(liàng)結果(guǒ)也(yě)会(huì)不(bù)一(yī)样。
     
  • 手(shǒu)動(dòng)高(gāo)度測量(liàng)需要(yào)操作(zuò)者(zhě)反(fǎn)複進(jìn)行移動(dòng)载(zài)物(wù)台(tái),使用(yòng)旋鈕調焦的(de)操作(zuò),这使測量(liàng)既耗时(shí)又低(dī)效。 
     
  • 很難对(duì)微小的(de)物(wù)體(tǐ)聚焦,比如(rú)引線(xiàn)。








STM7解(jiě)決方(fāng)案(àn)

自(zì)動(dòng)对(duì)焦單元(yuán):再現(xiàn)性(xìng)和(hé)聚焦速度

无論操作(zuò)者(zhě)的(de)经验如(rú)何,使用(yòng)STM7自(zì)動(dòng)对(duì)焦單元(yuán)均可(kě)以(yǐ)在(zài)更(gèng)短时(shí)間(jiān)內(nèi)實(shí)現(xiàn)高(gāo)度測量(liàng)。即使是(shì)粗(cū)糙或(huò)傾斜的(de)样品表(biǎo)面(miàn),利用(yòng)主(zhǔ)動(dòng)反(fǎn)射、共聚焦方(fāng)法(fǎ)都可(kě)以(yǐ)實(shí)現(xiàn)稳定(dìng)对(duì)焦,而(ér)小直(zhí)徑的(de)激光(guāng),也(yě)能保證对(duì)微小物(wù)體(tǐ),比如(rú)引線(xiàn)的(de)自(zì)動(dòng)对(duì)焦。


單次(cì)对(duì)焦模式

模糊图(tú)像
 
聚焦图(tú)像

執行自(zì)動(dòng)聚焦後(hòu),可(kě)瞬間(jiān)完成從大(dà)致(zhì)的(de)聚焦狀态轉(zhuǎn)为(wèi)視场(chǎng)中(zhōng)心(xīn)的(de)清(qīng)晰对(duì)焦。

追蹤模式

啟用(yòng)具有(yǒu)特(tè)色(sè)的(de)追蹤模式後(hòu)会(huì)随样品表(biǎo)面(miàn)的(de)高(gāo)低(dī)起(qǐ)伏自(zì)動(dòng)对(duì)焦,即使在(zài)移動(dòng)工作(zuò)台(tái)的(de)情(qíng)況下(xià),也(yě)可(kě)以(yǐ)始(shǐ)終(zhōng)保持(chí)合焦狀态。这使得操作(zuò)者(zhě)在(zài)手(shǒu)不(bù)需要(yào)離開(kāi)X和(hé)Y手(shǒu)柄的(de)情(qíng)況下(xià)也(yě)能實(shí)施觀察,從而(ér)提(tí)高(gāo)了Z軸的(de)測量(liàng)效率。


實(shí)現(xiàn)觀察與(yǔ)測量(liàng)範圍拓展(zhǎn)的(de)配件(jiàn)

带(dài)編碼物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)盤

編碼物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)盤

将編碼物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)盤與(yǔ)數碼照相機(jī)配套(tào)使用(yòng)可(kě)以(yǐ)在(zài)觀察过(guò)程中(zhōng)在(zài)屏幕上(shàng)显示物(wù)鏡(jìng)的(de)放大(dà)倍率,以(yǐ)方(fāng)便您記(jì)录(lù)倍率。同(tóng)时(shí)切(qiè)換倍率时(shí)也(yě)能與(yǔ)软(ruǎn)件(jiàn)中(zhōng)記(jì)录(lù)的(de)校(xiào)準值和(hé)光(guāng)強(qiáng)連(lián)動(dòng)調整設置。 有(yǒu)明(míng)场(chǎng)物(wù)鏡(jìng)和(hé)明(míng)暗(àn)场(chǎng)物(wù)鏡(jìng)两(liǎng)種(zhǒng)供您選擇。


MM6-EMO /正(zhèng)像單目鏡(jìng)筒

正(zhèng)像單目鏡(jìng)筒

正(zhèng)立图(tú)像用(yòng)單目鏡(jìng)筒。可(kě)與(yǔ)MM6-OCC10×(带(dài)十(shí)字線(xiàn)的(de)目鏡(jìng))配套(tào)使用(yòng)。


STM7-FS/ 腳(jiǎo)踏開(kāi)關(guān)

foot_switch

實(shí)現(xiàn)了不(bù)需要(yào)用(yòng)手(shǒu)進(jìn)行數據(jù)傳輸,使操作(zuò)者(zhě)可(kě)以(yǐ)在(zài)手(shǒu)不(bù)離開(kāi)X和(hé)Y手(shǒu)柄的(de)情(qíng)況下(xià)完成測量(liàng)。


SZ-LW61/ 白(bái)光(guāng)LED照明(míng)單元(yuán)

白(bái)光(guāng)LED燈(dēng)箱(xiāng)

小型,輕(qīng)便,使用(yòng)壽命长(cháng),功耗低(dī)等特(tè)點(diǎn)。此(cǐ)外(wài),这款LED照明(míng)單元(yuán)也(yě)不(bù)会(huì)發(fà)生(shēng)閃爍和(hé)亮(liàng)度波(bō)動(dòng)。


SZX2-ILR66+SZX-RHS/ LED环(huán)形照明(míng)裝(zhuāng)置+手(shǒu)動(dòng)控制單元(yuán)

环(huán)形LED照明(míng)裝(zhuāng)置手(shǒu)動(dòng)控制單元(yuán)

SZX-RHS手(shǒu)動(dòng)控制單元(yuán)可(kě)以(yǐ)實(shí)現(xiàn)SZX2- ILR66反(fǎn)射LED环(huán)形照明(míng)裝(zhuāng)置的(de)四(sì)段照明(míng),並(bìng)提(tí)供有(yǒu)較高(gāo)色(sè)温(wēn)的(de)清(qīng)晰图(tú)像。可(kě)以(yǐ)從13種(zhǒng)模式中(zhōng)選擇照明(míng)。


旋轉(zhuǎn)载(zài)物(wù)台(tái)

使用(yòng)微調旋鈕可(kě)以(yǐ)輕(qīng)松實(shí)現(xiàn)对(duì)样品的(de)平行对(duì)齊。

STM7 RS100 旋轉(zhuǎn)载(zài)物(wù)台(tái)
STM7-RS100 用(yòng)于(yú)STM7-CS100 100 mm×100 mm载(zài)物(wù)台(tái)
STM7 RS200旋轉(zhuǎn)载(zài)物(wù)台(tái)
STM7-RS200 用(yòng)于(yú)STM7-CS200 200 mm×200 mm载(zài)物(wù)台(tái)
STM7 RS300旋轉(zhuǎn)载(zài)物(wù)台(tái)
STM7-RS300 用(yòng)于(yú)STM7-CS300 300 mm×300 mm载(zài)物(wù)台(tái)


測量(liàng)支持(chí)系统

STM7-BSW GUI

对(duì)于(yú)显示測量(liàng)显微鏡(jìng)輸出(chū)的(de)數據(jù)和(hé)图(tú)像来(lái)说(shuō),看(kàn)的(de)越清(qīng)楚也(yě)就(jiù)能更(gèng)方(fāng)便更(gèng)快捷地(dì)使用(yòng)和(hé)測量(liàng)。該软(ruǎn)件(jiàn)亦可(kě)與(yǔ)數碼相機(jī)結合使用(yòng)。

STM7規格

小型鏡(jìng)架

中(zhōng)型鏡(jìng)架

大(dà)型鏡(jìng)架

光(guāng)學(xué)系统

UIS2光(guāng)學(xué)系统(无限遠(yuǎn)校(xiào)正(zhèng))

显微鏡(jìng)鏡(jìng)架

觀察方(fāng)法(fǎ)

BF/DF/DIC/KPO*1

反(fǎn)射/透射

反(fǎn)射/透射

照明(míng)系统

白(bái)色(sè):用(yòng)于(yú)反(fǎn)射光(guāng)照明(míng),綠(lǜ)色(sè):用(yòng)于(yú)透射光(guāng)照明(míng),功耗: 10 W 

聚焦

电動(dòng)/手(shǒu)動(dòng)

手(shǒu)動(dòng) [手(shǒu)動(dòng)型]

电動(dòng) [电動(dòng)型]

行程

175 mm

145 mm*2

FOCUS 按鈕粗(cū)移速度

8 mm/s [电動(dòng)型]

微調焦速度 (可(kě)變(biàn))

800 µm/400 µm/200 µm/50 µm (旋轉(zhuǎn)一(yī)周移動(dòng)量(liàng)) 4 檔可(kě)選 [电動(dòng)型]

測量(liàng)高(gāo)度

175 mm*3, 120 mm*4

145 mm*3, 90 mm*4

物(wù)鏡(jìng)

測量(liàng)物(wù)鏡(jìng)/金(jīn)相物(wù)鏡(jìng)

觀察筒

正(zhèng)像單目鏡(jìng)筒,正(zhèng)像三(sān)目筒(100:0/0:100)

载(zài)物(wù)台(tái)

行程

50(X)x50(Y)mm

200(X)x200(Y)mm

300(X)x300(Y)mm

100(X)x100(Y)mm

測量(liàng)精度

50 mm 行程:(3+L/50)µm

(3+4L/200)µm

(3+6L/300)µm

100 mm 行程:(3+L/100)µm

計(jì)數器显示

軸數

3

單位

毫(háo)米(mǐ)/微米(mǐ)/英寸(cùn)/密耳(ěr)

計(jì)數器显示分(fēn)辨率

0.1μm

外(wài)形尺寸(cùn)

[手(shǒu)動(dòng)型]

466(宽(kuān))x583(长(cháng))x651(高(gāo))mm

606(宽(kuān))x762(长(cháng))x651(高(gāo))mm

804(宽(kuān))x1024(长(cháng))x686(高(gāo))mm

[电動(dòng)型]

466(宽(kuān))x583(长(cháng))x811(高(gāo))mm

606(宽(kuān))x762(长(cháng))x811(高(gāo))mm

804(宽(kuān))x1024(长(cháng))x844(高(gāo))mm

重(zhòng)量(liàng)

[手(shǒu)動(dòng)型]

84kg

152kg

277kg

[电動(dòng)型]

92kg

159kg

284kg

備注

*1: 簡易偏光(guāng)觀察 
*2: 
使用(yòng)大(dà)型鏡(jìng)架STM7-LF/STM7-LFA时(shí),可(kě)以(yǐ)将高(gāo)度为(wèi)100 mm或(huò)以(yǐ)下(xià)的(de)样品放置在(zài)光(guāng)軸後(hòu)方(fāng)180 mm或(huò)以(yǐ)上(shàng)距離的(de)地(dì)方(fāng)。 
*3: 
采用(yòng)金(jīn)相显微鏡(jìng)使用(yòng)的(de)物(wù)鏡(jìng) 
*4: 
采用(yòng)測量(liàng)显微鏡(jìng)使用(yòng)的(de)物(wù)鏡(jìng)

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