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儀景通(tòng)Evident
RameHart
Comet(Feinfocus) X-Ray
View Engineering
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VEGARAY 桌(zhuō)上(shàng)型X-RAY
AXSYS
YCT
Buehler
ISP SEM电子扫描鏡(jìng)
 

地(dì)址:江蘇省无锡(xī)新(xīn)區(qū)菱湖(hú)大(dà)道(dào)111号(hào)软(ruǎn)件(jiàn)園(yuán)天(tiān)鵝座C座17层(céng)(无锡(xī))

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儀景通(tòng)Evident金(jīn)相显微鏡(jìng)BX53M
産品概要(yào)

 

BX3M系列采用(yòng)了模块(kuài)化(huà)設計(jì),为(wèi)材料學(xué)和(hé)工業應(yìng)用(yòng)提(tí)供了多(duō)样化(huà)的(de)解(jiě)決方(fāng)案(àn)。BX3M增強(qiáng)了與(yǔ)儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)的(de)集成性(xìng),從而(ér)为(wèi)常規显微鏡(jìng)检查和(hé)數碼成像用(yòng)戶提(tí)供了從觀察到(dào)報告創建的(de)无縫工作(zuò)流程。


适且(qiě)便于(yú)使用(yòng)

易于(yú)操作(zuò):簡單的(de)照明(míng)器

照明(míng)器的(de)設計(jì)減少(shǎo)了显微鏡(jìng)操作(zuò)过(guò)程中(zhōng)所(suǒ)必須的(de)複雜操作(zuò)。 照明(míng)器前(qián)端的(de)旋鈕使用(yòng)戶能够輕(qīng)松地(dì)改變(biàn)觀察方(fāng)法(fǎ)。操作(zuò)者(zhě)可(kě)以(yǐ)在(zài)反(fǎn)射光(guāng)显微鏡(jìng)检查时(shí)快速切(qiè)換較常用(yòng)的(de)觀察方(fāng)法(fǎ),比如(rú)從明(míng)场(chǎng)觀察到(dào)暗(àn)场(chǎng)觀察,到(dào)偏光(guāng)觀察,以(yǐ)随时(shí)改變(biàn)不(bù)同(tóng)類(lèi)型的(de)分(fēn)析。此(cǐ)外(wài),可(kě)以(yǐ)旋轉(zhuǎn)检偏鏡(jìng)来(lái)實(shí)現(xiàn)簡單偏光(guāng)觀察的(de)調节。

操作(zuò)者(zhě)能够在(zài)经常使用(yòng)的(de)觀察方(fāng)法(fǎ)之(zhī)間(jiān)快速切(qiè)換(AlSi的(de)抛光(guāng)态样品)


直(zhí)觀的(de)显微鏡(jìng)控制:視场(chǎng)光(guāng)闌和(hé)孔徑光(guāng)闌的(de)簡單設置

使用(yòng)正(zhèng)确的(de)孔徑光(guāng)闌和(hé)視场(chǎng)光(guāng)闌設置能够獲得良好(hǎo)的(de)图(tú)像对(duì)比度,還(huán)可(kě)以(yǐ)充分(fēn)利用(yòng)物(wù)鏡(jìng)的(de)數值孔徑。指示标(biāo)志可(kě)引導用(yòng)戶根(gēn)據(jù)觀察方(fāng)法(fǎ)和(hé)所(suǒ)用(yòng)物(wù)鏡(jìng)進(jìn)行正(zhèng)确的(de)設置。


快速找到(dào)焦點(diǎn):对(duì)焦刻(kè)度标(biāo)尺

機(jī)架上(shàng)的(de)对(duì)焦刻(kè)度标(biāo)尺可(kě)以(yǐ)讓操作(zuò)者(zhě)快速锁定(dìng)焦點(diǎn)。操作(zuò)者(zhě)不(bù)用(yòng)通(tòng)过(guò)目鏡(jìng)查看(kàn)样品就(jiù)可(kě)以(yǐ)大(dà)致(zhì)地(dì)对(duì)準焦點(diǎn),從而(ér)在(zài)检查有(yǒu)不(bù)同(tóng)高(gāo)度的(de)样品时(shí)节省了时(shí)間(jiān)。


一(yī)致(zhì)的(de)照明(míng):智能光(guāng)強(qiáng)管(guǎn)理(lǐ)

在(zài)初始(shǐ)設定(dìng)时(shí),可(kě)以(yǐ)調节照明(míng)強(qiáng)度,使其(qí)與(yǔ)編碼照明(míng)器和(hé)/或(huò)編碼物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器的(de)特(tè)定(dìng)硬(yìng)件(jiàn)配置匹(pǐ)配。

傳统的(de)光(guāng)強(qiáng)

傳统显微鏡(jìng)中(zhōng),提(tí)高(gāo)了放大(dà)倍率,以(yǐ)及(jí)使用(yòng)需要(yào)更(gèng)多(duō)光(guāng)線(xiàn)的(de)觀察方(fāng)法(fǎ)後(hòu),图(tú)像会(huì)變(biàn)得更(gèng)暗(àn)。

智能光(guāng)強(qiáng)管(guǎn)理(lǐ)

改變(biàn)放大(dà)倍率或(huò)觀察方(fāng)法(fǎ)时(shí),显微鏡(jìng)自(zì)動(dòng)調节光(guāng)強(qiáng)到(dào)正(zhèng)确值。


方(fāng)便而(ér)人(rén)性(xìng)化(huà)的(de)操作(zuò)

人(rén)性(xìng)化(huà)設計(jì)对(duì)所(suǒ)有(yǒu)用(yòng)戶都重(zhòng)要(yào)。无論是(shì)單機(jī)显微鏡(jìng)用(yòng)戶,還(huán)是(shì)集成了儀景通(tòng)Stream图(tú)像分(fēn)析软(ruǎn)件(jiàn)的(de)显微鏡(jìng)系统用(yòng)戶,都可(kě)以(yǐ)清(qīng)晰显示显微鏡(jìng)編碼型硬(yìng)件(jiàn)位置的(de)人(rén)性(xìng)化(huà)操作(zuò)設計(jì)的(de)手(shǒu)動(dòng)控制器。簡單的(de)手(shǒu)動(dòng)開(kāi)關(guān)讓用(yòng)戶能够專注于(yú)样品和(hé)检查工作(zuò)本(běn)身(shēn)。

用(yòng)于(yú)旋轉(zhuǎn)电動(dòng)物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器的(de)手(shǒu)動(dòng)開(kāi)關(guān)

手(shǒu)動(dòng)控制器

曝光(guāng)按鈕



可(kě)恢複显微鏡(jìng)設置:編碼硬(yìng)件(jiàn)

BX3M采用(yòng)了編碼功能,将显微鏡(jìng)的(de)硬(yìng)件(jiàn)設置與(yǔ)儀景通(tòng)Stream图(tú)像分(fēn)析软(ruǎn)件(jiàn)整合在(zài)一(yī)起(qǐ)。觀察方(fāng)法(fǎ)、照明(míng)強(qiáng)度和(hé)物(wù)鏡(jìng)位置全(quán)都記(jì)录(lù)在(zài)软(ruǎn)件(jiàn)和(hé)/或(huò)手(shǒu)動(dòng)控制器里(lǐ)。編碼功能可(kě)實(shí)現(xiàn)显微鏡(jìng)設置與(yǔ)每幅图(tú)像一(yī)起(qǐ)自(zì)動(dòng)保存,從而(ér)可(kě)輕(qīng)松完成此(cǐ)後(hòu)的(de)還(huán)原設置,以(yǐ)及(jí)为(wèi)報表(biǎo)提(tí)供文檔記(jì)录(lù)。既节省了操作(zuò)者(zhě)的(de)时(shí)間(jiān),又減小了使用(yòng)不(bù)正(zhèng)确設置的(de)概率。當前(qián)的(de)觀察設置總(zǒng)是(shì)清(qīng)晰地(dì)显示在(zài)手(shǒu)動(dòng)控制器和(hé)软(ruǎn)件(jiàn)上(shàng)。

操作(zuò)步驟 操作(zuò)者(zhě)A 操作(zuò)者(zhě)B
不(bù)同(tóng)的(de)操作(zuò)者(zhě)使用(yòng)不(bù)同(tóng)的(de)設置
易于(yú)验證正(zhèng)确的(de)設置

使觀察設置保持(chí)同(tóng)步

盡管(guǎn)操作(zuò)者(zhě)不(bù)同(tóng),但設置相同(tóng)

MIX觀察:讓未見(jiàn)變(biàn)为(wèi)可(kě)見(jiàn)

BX3M的(de)MIX觀察技術(shù)組合了明(míng)场(chǎng)和(hé)暗(àn)场(chǎng)照明(míng)方(fāng)法(fǎ)。MIX照明(míng)滑块(kuài)中(zhōng)的(de)LED光(guāng)源,以(yǐ)定(dìng)向(xiàng)暗(àn)场(chǎng)光(guāng)線(xiàn)照射样品。这種(zhǒng)方(fāng)式類(lèi)似于(yú)傳统暗(àn)场(chǎng)照明(míng),但又可(kě)为(wèi)LED的(de)不(bù)同(tóng)角(jiǎo)度光(guāng)線(xiàn)照射提(tí)供四(sì)分(fēn)象(xiàng)限選擇功能。这種(zhǒng)定(dìng)向(xiàng)暗(àn)场(chǎng)與(yǔ)明(míng)场(chǎng)、熒光(guāng)、或(huò)偏光(guāng)的(de)組合稱为(wèi)MIX照明(míng),有(yǒu)助于(yú)显示缺陷和(hé)區(qū)分(fēn)隆起(qǐ)與(yǔ)凹陷表(biǎo)面(miàn)。


柔性(xìng)印(yìn)制电路(lù)闆和(hé)不(bù)鏽鋼(gāng)


即时(shí)MIA:輕(qīng)松移動(dòng)载(zài)物(wù)台(tái)即可(kě)進(jìn)行全(quán)景拍摄

現(xiàn)在(zài)不(bù)需要(yào)电動(dòng)载(zài)物(wù)台(tái),仅仅移動(dòng)手(shǒu)動(dòng)载(zài)物(wù)台(tái)上(shàng)XY旋鈕即可(kě)方(fāng)便而(ér)快捷地(dì)拼接图(tú)像。儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)采用(yòng)图(tú)案(àn)識别技術(shù)来(lái)生(shēng)成全(quán)景图(tú)像,为(wèi)用(yòng)戶提(tí)供了視野。

一(yī)枚硬(yìng)幣(bì)的(de)即时(shí)MIA图(tú)像。


EFI:創建景深图(tú)像

儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)的(de)景深擴展(zhǎn)成像(EFI)功能能够獲取(qǔ)高(gāo)度超过(guò)物(wù)鏡(jìng)焦深的(de)样品图(tú)像,把(bǎ)通(tòng)过(guò)不(bù)同(tóng)焦面(miàn)的(de)图(tú)像疊加在(zài)一(yī)起(qǐ),創建出(chū)一(yī)幅景深图(tú)像。可(kě)以(yǐ)使用(yòng)手(shǒu)動(dòng)或(huò)电動(dòng)Z軸機(jī)構来(lái)執行EFI,並(bìng)可(kě)創建一(yī)幅高(gāo)度图(tú),以(yǐ)輕(qīng)松地(dì)識别样品結構。也(yě)可(kě)以(yǐ)用(yòng)Stream桌(zhuō)面(miàn)版在(zài)離線(xiàn)时(shí)創建EFI图(tú)像。


HDR:同(tóng)时(shí)捕捉高(gāo)光(guāng)和(hé)暗(àn)調區(qū)域的(de)细(xì)节

高(gāo)動(dòng)态範圍(HDR)使用(yòng)了图(tú)像處(chù)理(lǐ)技術(shù),能够针对(duì)一(yī)幅图(tú)像內(nèi)的(de)亮(liàng)度差异(yì)進(jìn)行調节,從而(ér)減少(shǎo)了眩光(guāng)。HDR改善了數字图(tú)像的(de)視覺效果(guǒ),從而(ér)为(wèi)用(yòng)戶制作(zuò)報告时(shí)提(tí)供图(tú)像。

借(jiè)助HDR功能,同(tóng)时(shí)清(qīng)晰呈現(xiàn)出(chū)高(gāo)光(guāng)和(hé)暗(àn)調區(qū)域的(de)细(xì)节
(样品:燃油(yóu)噴射器)

借(jiè)助HDR功能,增強(qiáng)了对(duì)比度
(样品:鎂切(qiè)片(piàn))


可(kě)調整滿足觀察和(hé)分(fēn)析的(de)偏好(hǎo)要(yào)求

觀察方(fāng)法(fǎ)的(de)選擇範圍宽(kuān)广

反(fǎn)射光(guāng)显微鏡(jìng)應(yìng)用(yòng)于(yú)各(gè)行各(gè)業。以(yǐ)下(xià)仅为(wèi)一(yī)些(xiē)通(tòng)过(guò)不(bù)同(tóng)觀察方(fāng)法(fǎ)獲得的(de)效果(guǒ)示例,如(rú) 明(míng)场(chǎng)(BF)、 暗(àn)场(chǎng)(DF)、微分(fēn)干(gàn)涉差(DIC)、偏光(guāng)(PL)、熒光(guāng)(FL)、紅(hóng)外(wài)(IR)、和(hé)透射光(guāng)(TL)。


DF(示例: 表(biǎo)面(miàn)貼裝(zhuāng)基闆)


DIC(示例:球墨(mò)铸铁(tiě)腐蝕检測)


PL(示例: 絹雲(yún)母)


FL(示例: 半導體(tǐ)晶圆(yuán)上(shàng)的(de)颗粒(lì)异(yì)物(wù))


IR(示例:电极(jí)切(qiè)片(piàn))


TL(示例: LCD彩色(sè)濾光(guāng)片(piàn))


常規或(huò)基礎測量(liàng)功能

通(tòng)过(guò)儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)可(kě)以(yǐ)實(shí)現(xiàn)多(duō)種(zhǒng)測量(liàng)功能,從而(ér)使用(yòng)戶可(kě)以(yǐ)很輕(qīng)松地(dì)從图(tú)像中(zhōng)獲取(qǔ)有(yǒu)用(yòng)的(de)數據(jù)。在(zài)質(zhì)量(liàng)控制和(hé)检查时(shí)常常需要(yào)对(duì)图(tú)像進(jìn)行測量(liàng)。所(suǒ)有(yǒu)測量(liàng)結果(guǒ)都與(yǔ)图(tú)像文件(jiàn)一(yī)起(qǐ)保存,用(yòng)于(yú)文件(jiàn)检索。


計(jì)數和(hé)測量(liàng)

目标(biāo)探測和(hé)尺寸(cùn)分(fēn)布(bù)測量(liàng),是(shì)數碼图(tú)像中(zhōng)應(yìng)用(yòng)。Stream软(ruǎn)件(jiàn)使用(yòng)阈值分(fēn)割方(fāng)法(fǎ)進(jìn)行目标(biāo)探測,能够可(kě)靠地(dì)從背景中(zhōng)分(fēn)離目标(biāo)(比如(rú)颗粒(lì)、划痕)。


材料解(jiě)決方(fāng)案(àn)

儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)提(tí)供了基于(yú)工作(zuò)流程的(de)直(zhí)觀界面(miàn),可(kě)用(yòng)于(yú)複雜的(de)图(tú)像分(fēn)析。點(diǎn)擊按鈕即可(kě)快速執行複雜的(de)图(tú)像分(fēn)析任務(wù),並(bìng)且(qiě)符合很常用(yòng)的(de)工業标(biāo)準。






3D測量(liàng)

使用(yòng)外(wài)部(bù)电動(dòng)对(duì)焦機(jī)構时(shí),可(kě)以(yǐ)快速獲取(qǔ)EFI图(tú)像,並(bìng)以(yǐ)3D視图(tú)显示。獲取(qǔ)的(de)高(gāo)度數據(jù)可(kě)用(yòng)于(yú)剖面(miàn)上(shàng)的(de)3D測量(liàng),或(huò)通(tòng)过(guò)單視图(tú)進(jìn)行3D測量(liàng)。

3D表(biǎo)面(miàn)視图(tú)(粗(cū)糙度試验样品)

單視图(tú)和(hé)3D剖面(miàn)測量(liàng)


容納各(gè)類(lèi)样品

可(kě)以(yǐ)容納更(gèng)多(duō)的(de)样品類(lèi)型和(hé)尺寸(cùn)

150×100mm载(zài)物(wù)台(tái)在(zài)X方(fāng)向(xiàng)上(shàng)提(tí)供了比以(yǐ)前(qián)的(de)型号(hào)更(gèng)大(dà)的(de)行程。再加上(shàng)其(qí)载(zài)物(wù)台(tái)闆的(de)平闆式設計(jì),可(kě)以(yǐ)輕(qīng)松地(dì)将大(dà)样品,或(huò)多(duō)个(gè)样品放置在(zài)载(zài)物(wù)台(tái)上(shàng)。载(zài)物(wù)台(tái)闆上(shàng)開(kāi)有(yǒu)小孔,可(kě)用(yòng)于(yú)固定(dìng)样品架。更(gèng)大(dà)的(de)载(zài)物(wù)台(tái)为(wèi)用(yòng)戶提(tí)供了靈活性(xìng),使他(tā)们(men)能够在(zài)一(yī)台(tái)显微鏡(jìng)上(shàng)检查更(gèng)多(duō)的(de)样品,從而(ér)节省了寶(bǎo)貴的(de)實(shí)验室(shì)空間(jiān)。可(kě)調节扭力的(de)载(zài)物(wù)台(tái)方(fāng)便了高(gāo)倍下(xià)窄(zhǎi)視野的(de)微調定(dìng)位。


样品高(gāo)度和(hé)重(zhòng)量(liàng)的(de)高(gāo)适應(yìng)性(xìng)

 BX53MRF-S

使用(yòng)選配的(de)模块(kuài)組件(jiàn)可(kě)以(yǐ)将高(gāo)105mm的(de)样品放置在(zài)载(zài)物(wù)台(tái) 上(shàng)。由(yóu)于(yú)改進(jìn)了調焦機(jī)構,因(yīn)此(cǐ)显微鏡(jìng)可(kě)以(yǐ)容納重(zhòng)6kg的(de)總(zǒng)重(zhòng)量(liàng)(样品+载(zài)物(wù)台(tái))。这就(jiù)意(yì)味着BX3M可(kě)以(yǐ)检查更(gèng)大(dà)、更(gèng)重(zhòng)的(de)样品,從而(ér)減少(shǎo)了實(shí)验室(shì)內(nèi)所(suǒ)需的(de)显微鏡(jìng)數量(liàng)。通(tòng)过(guò)将用(yòng)于(yú)6英寸(cùn)晶圆(yuán)的(de)旋轉(zhuǎn)托架放置在(zài)偏離中(zhōng)心(xīn)的(de)位置,在(zài)100mm行程範圍內(nèi)移動(dòng)时(shí),用(yòng)戶仅旋轉(zhuǎn)晶圆(yuán)托架即可(kě)觀察整个(gè)晶圆(yuán)表(biǎo)面(miàn)。







样品尺寸(cùn)大(dà)小的(de)靈活性(xìng)

BXFM

如(rú)果(guǒ)样品太大(dà),難以(yǐ)放置在(zài)常規显微鏡(jìng)载(zài)物(wù)台(tái)上(shàng),則可(kě)以(yǐ)把(bǎ)用(yòng)于(yú)反(fǎn)射光(guāng)显微鏡(jìng)觀察的(de)核心(xīn)光(guāng)學(xué)部(bù)件(jiàn)組裝(zhuāng)到(dào)一(yī)个(gè)模块(kuài)化(huà)的(de)系统里(lǐ)。这種(zhǒng)模块(kuài)化(huà)系统,就(jiù)是(shì)BXFM,它(tā)可(kě)以(yǐ)通(tòng)过(guò)一(yī)个(gè)支撐杆安(ān)裝(zhuāng)在(zài)更(gèng)大(dà)的(de)支架上(shàng),或(huò)使用(yòng)安(ān)裝(zhuāng)托架安(ān)裝(zhuāng)在(zài)另一(yī)台(tái)儀器上(shàng)。







兼容ESD:保護电子裝(zhuāng)置,防止受到(dào)静(jìng)电放电的(de)影響

BX3M有(yǒu)ESD静(jìng)电消除能力,防止电子裝(zhuāng)置受到(dào)由(yóu)人(rén)为(wèi)或(huò)环(huán)境因(yīn)素而(ér)導致(zhì)的(de)静(jìng)电的(de)影響。


光(guāng)學(xué)性(xìng)能:波(bō)像差控制

使用(yòng)显微鏡(jìng)進(jìn)行研究或(huò)系统集成时(shí),所(suǒ)有(yǒu)物(wù)鏡(jìng)的(de)光(guāng)學(xué)性(xìng)能必須标(biāo)準化(huà)。儀景通(tòng)的(de)UIS2物(wù)鏡(jìng)提(tí)供了波(bō)像差控制,減小了会(huì)降低(dī)分(fēn)辨率的(de)像差,從而(ér)獲得數值孔徑(NA)和(hé)工作(zuò)距離(WD)性(xìng)能指标(biāo)。


稳定(dìng)的(de)色(sè)温(wēn)和(hé)高(gāo)強(qiáng)度白(bái)光(guāng)LED照明(míng)

BX3M为(wèi)反(fǎn)射光(guāng)和(hé)透射光(guāng)照明(míng)提(tí)供了高(gāo)強(qiáng)度的(de)白(bái)光(guāng)LED光(guāng)源。无論強(qiáng)度是(shì)多(duō)少(shǎo),LED都保持(chí)着一(yī)致(zhì)的(de)色(sè)温(wēn)。LED提(tí)供了高(gāo)效而(ér)长(cháng)壽命的(de)照明(míng),是(shì)材料學(xué)检測應(yìng)用(yòng)的(de)工具。


通(tòng)过(guò)鹵素燈(dēng)獲得的(de)高(gāo)光(guāng)強(qiáng)和(hé)低(dī)光(guāng)強(qiáng)

通(tòng)过(guò)LED獲得的(de)高(gāo)光(guāng)強(qiáng)和(hé)低(dī)光(guāng)強(qiáng)

實(shí)現(xiàn)性(xìng)能的(de)品質(zhì)

測量(liàng):自(zì)動(dòng)校(xiào)準

類(lèi)似于(yú)數碼显微鏡(jìng),使用(yòng)儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)时(shí)也(yě)能够實(shí)施自(zì)動(dòng)校(xiào)準。自(zì)動(dòng)校(xiào)準消除了校(xiào)準过(guò)程中(zhōng)的(de)人(rén)为(wèi)變(biàn)化(huà)因(yīn)素,能够獲得更(gèng)可(kě)靠的(de)測量(liàng)結果(guǒ)。自(zì)動(dòng)校(xiào)準的(de)算法(fǎ)采用(yòng)多(duō)个(gè)測量(liàng)點(diǎn)的(de)平均值来(lái)自(zì)動(dòng)計(jì)算正(zhèng)确的(de)校(xiào)準量(liàng)。这就(jiù)減小了不(bù)同(tóng)操作(zuò)者(zhě)産生(shēng)的(de)差异(yì),提(tí)高(gāo)了定(dìng)期(qī)验證的(de)可(kě)靠性(xìng)。






无縫拼接:图(tú)像阴影校(xiào)正(zhèng)

可(kě)以(yǐ)用(yòng)儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)完成阴影校(xiào)正(zhèng),以(yǐ)補偿图(tú)像角(jiǎo)落四(sì)周的(de)阴影。使用(yòng)光(guāng)強(qiáng)阈值設置时(shí),阴影校(xiào)正(zhèng)提(tí)供了分(fēn)析。此(cǐ)外(wài),使用(yòng)MIA拼接图(tú)像时(shí),可(kě)以(yǐ)獲得更(gèng)均勻的(de)全(quán)景图(tú)像。



BX53M規格(用(yòng)于(yú)反(fǎn)射和(hé)反(fǎn)射/透射光(guāng)組合)

BX53MTRF-S

BX53MRF-S

BXFM

光(guāng)學(xué)系统

UIS2光(guāng)學(xué)系统(无限遠(yuǎn)校(xiào)正(zhèng))

显微鏡(jìng)機(jī)架

照明(míng)

反(fǎn)射/透射

反(fǎn)射

对(duì)焦

行程:25 mm 
每轉(zhuǎn)的(de)微調行程:100 μm 
刻(kè)度:1 μm 
配有(yǒu)上(shàng)限限位器,用(yòng)于(yú)粗(cū)調手(shǒu)柄的(de)扭力調节

行程:30 mm 
每轉(zhuǎn)的(de)微調行程:200 μm 
刻(kè)度:2 μm 
配有(yǒu)用(yòng)于(yú)粗(cū)調手(shǒu)柄的(de)扭力調节

样品高(gāo)度

35 mm (不(bù)含高(gāo)度适配器) 
75 mm (带(dài)BX3M-ARMAD)

65 mm (不(bù)含高(gāo)度适配器) 
105 mm (带(dài)BX3M-ARMAD)

取(qǔ)決于(yú)安(ān)裝(zhuāng)配置

觀察筒

宽(kuān)視野FN22

倒像:双(shuāng)目、三(sān)目、傾斜式双(shuāng)目 
正(zhèng)像:三(sān)目、傾斜式双(shuāng)目

超宽(kuān)視野FN26.5

倒像:三(sān)目 
正(zhèng)像:三(sān)目、傾斜式三(sān)目

反(fǎn)射光(guāng)照明(míng)

常規觀察技術(shù)

BX3M-RLAS-S 
編碼,白(bái)光(guāng)LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(带(dài)对(duì)中(zhōng)裝(zhuāng)置) 
BX3M-KMA-S 
白(bái)光(guāng)LED,BF/DIC/POL/MIX FS,AS(带(dài)对(duì)中(zhōng)裝(zhuāng)置) 
BX3M-RLA-S 
100W/50W鹵素燈(dēng),白(bái)光(guāng)LED,BF/DF/DIC/POL/MIX FS,AS(带(dài)对(duì)中(zhōng)裝(zhuāng)置), 
BF/DF切(qiè)換时(shí)中(zhōng)密度濾色(sè)片(piàn)聯動(dòng)

-

U-KMAS 
白(bái)光(guāng)LED,100W鹵素燈(dēng) 
光(guāng)纖照明(míng),BF/DIC/POL/MIX

熒光(guāng)

BX3M-URAS-S 
編碼,100W汞燈(dēng),4孔位分(fēn)光(guāng)鏡(jìng)組件(jiàn)轉(zhuǎn)換器,(标(biāo)準:WB, WG, WU+BF等) 
FS,AS(带(dài)对(duì)中(zhōng)裝(zhuāng)置),带(dài)光(guāng)閘裝(zhuāng)置

透射光(guāng)

白(bái)光(guāng)LED 
阿貝/长(cháng)工作(zuò)距離聚光(guāng)鏡(jìng)

-

物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器

用(yòng)于(yú)BF

六(liù)孔,对(duì)中(zhōng)六(liù)孔,七(qī)孔,編碼五(wǔ)孔(選配电動(dòng)物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器)

用(yòng)于(yú)BF/DF

六(liù)孔,五(wǔ)孔,对(duì)中(zhōng)五(wǔ)孔,編碼五(wǔ)孔(選配电動(dòng)物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器)

载(zài)物(wù)台(tái)

同(tóng)軸左(zuǒ)手(shǒu)(右(yòu)手(shǒu))操作(zuò)载(zài)物(wù)台(tái): 
76mm×52mm,采用(yòng)扭力調节 
大(dà)型同(tóng)軸左(zuǒ)手(shǒu)(右(yòu)手(shǒu))操作(zuò)载(zài)物(wù)台(tái): 
100mm×105mm,带(dài)Y軸锁定(dìng)裝(zhuāng)置 
大(dà)型同(tóng)軸右(yòu)手(shǒu)操作(zuò)载(zài)物(wù)台(tái): 
150mm×100mm,带(dài)扭力調节和(hé)Y軸锁定(dìng)裝(zhuāng)置

-

重(zhòng)量(liàng)

大(dà)約18.3 kg 
(显微鏡(jìng)機(jī)架7.6 kg)

大(dà)約15.8 kg 
(显微鏡(jìng)機(jī)架7.4 kg)

大(dà)約11.1 kg 
(显微鏡(jìng)機(jī)架1.9 kg)

BX53M規格(用(yòng)于(yú)紅(hóng)外(wài)觀察)

BX53MRF-S

BXFM

IR觀察筒

宽(kuān)視野FN22

倒像:三(sān)目

反(fǎn)射光(guāng)照明(míng)

IR觀察

BX3M-RLA-S 
IR用(yòng)100W/50W鹵素燈(dēng),BF/IR,AS(带(dài)对(duì)中(zhōng)裝(zhuāng)置) 
BX3M-URAS-S 
IR用(yòng)100W/50W鹵素燈(dēng),BF/IR,AS(带(dài)对(duì)中(zhōng)裝(zhuāng)置)

U-KMAS 
IR用(yòng)100W/50W鹵素燈(dēng),BF/IR

物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器

用(yòng)于(yú)BF

六(liù)孔,对(duì)中(zhōng)六(liù)孔,七(qī)孔,編碼五(wǔ)孔(選配电動(dòng)物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器)

Stage (X × Y)

同(tóng)軸左(zuǒ)手(shǒu)(右(yòu)手(shǒu))操作(zuò)载(zài)物(wù)台(tái): 
76mm×52mm,采用(yòng)扭力調节 
大(dà)型同(tóng)軸左(zuǒ)手(shǒu)(右(yòu)手(shǒu))操作(zuò)载(zài)物(wù)台(tái): 
100mm×105mm,带(dài)Y軸锁定(dìng)裝(zhuāng)置 
大(dà)型同(tóng)軸右(yòu)手(shǒu)操作(zuò)载(zài)物(wù)台(tái): 
150mm×100mm,带(dài)扭力調节和(hé) 
Y軸锁定(dìng)裝(zhuāng)置

重(zhòng)量(liàng)

大(dà)約18.9 kg(显微鏡(jìng)機(jī)架7.4 kg)

大(dà)約11.6 kg(显微鏡(jìng)機(jī)架1.9 kg)

BX53M規格(用(yòng)于(yú)偏光(guāng)觀察)

BX53MTRF-S

偏光(guāng)中(zhōng)間(jiān)附件(jiàn) 
(U-CPA或(huò)U-OPA)

宽(kuān)視野FN22

倒像:双(shuāng)目、三(sān)目、傾斜式双(shuāng)目 
正(zhèng)像:三(sān)目、傾斜式双(shuāng)目

勃氏鏡(jìng)

可(kě)对(duì)焦(仅适用(yòng)于(yú)U-CPA)

勃氏鏡(jìng)視场(chǎng)光(guāng)闌

直(zhí)徑Ø3.4mm(固定(dìng))(仅适用(yòng)于(yú)U-CPA)

切(qiè)換正(zhèng)像鏡(jìng)检和(hé)錐光(guāng)鏡(jìng)检时(shí)加入(rù)或(huò)退(tuì)出(chū)勃氏鏡(jìng)

滑块(kuài)位置 ● 進(jìn)入(rù) 
滑块(kuài)位置 ○ 退(tuì)出(chū) 
(仅适用(yòng)于(yú)U-CPA)

检偏鏡(jìng)插槽

旋轉(zhuǎn)式检偏鏡(jìng)插槽(U-AN360P-2)

检偏鏡(jìng)(U-AN360P-2)

可(kě)旋轉(zhuǎn)360°的(de)撥盤 
可(kě)旋轉(zhuǎn)的(de)小角(jiǎo)度0.1°

对(duì)中(zhōng)式物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器(U-P4RE)

四(sì)孔,附对(duì)中(zhōng)裝(zhuāng)置:1/4λ偏振片(piàn)(U-TAD), 
試闆(U-TP530) 和(hé)各(gè)種(zhǒng)補色(sè)器均可(kě)連(lián)接補色(sè)器适配器(U-TAD)使用(yòng)。

载(zài)物(wù)台(tái)(U-SRP)

带(dài)3點(diǎn)对(duì)中(zhōng)功能的(de)偏光(guāng)專用(yòng)旋轉(zhuǎn)载(zài)物(wù) 
可(kě)旋轉(zhuǎn)360°,可(kě)锁定(dìng)在(zài)任何位置,360°每刻(kè)度遞增1° 
(分(fēn)辨率6’,使用(yòng)遊标(biāo)尺) 
45°锁定(dìng)功能 
可(kě)安(ān)裝(zhuāng)移動(dòng)标(biāo)本(běn)夾(U-FMP)

聚光(guāng)鏡(jìng)(U-POC-2)

消色(sè)差无應(yìng)力聚光(guāng)鏡(jìng)(U-POC-2),带(dài)外(wài)擺式消色(sè)差頂部(bù)透鏡(jìng)的(de)可(kě)旋轉(zhuǎn)360°起(qǐ)偏鏡(jìng)。 
“0°”刻(kè)度處(chù)的(de)锁定(dìng)機(jī)構可(kě)調节。 
NA0.9(頂部(bù)鏡(jìng)头內(nèi)擺) 
NA0.18(頂部(bù)鏡(jìng)头外(wài)擺) 
孔徑光(guāng)闌:直(zhí)徑從2mm到(dào)21mm可(kě)調节

重(zhòng)量(liàng)

大(dà)約16.2 kg(显微鏡(jìng)機(jī)架7.6 kg)

BX53M/BXFM ESD裝(zhuāng)置

部(bù)件(jiàn)

显微鏡(jìng)機(jī)架:BX53MRF-S, BX53MTRF-S 
照明(míng)器:BX3M-KMA-S, BX3M-RLA-S, BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S 
物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器:U-D6BDRES-S, U-D6RE-ESD, U-D5BDREMC-ESD, U-5RES-ESD 
载(zài)物(wù)台(tái):U-SIC4R2, U-SIC4L2, U-MSSP4

 



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