MX63和(hé)MX63L显微鏡(jìng)系统支持(chí)检測尺寸(cùn)达(dá)300毫(háo)米(mǐ)的(de)晶圆(yuán)、平闆显示器、印(yìn)刷电路(lù)闆以(yǐ)及(jí)其(qí)他(tā)样品的(de)質(zhì)量(liàng)。这些(xiē)符合人(rén)體(tǐ)工學(xué)設計(jì)的(de)人(rén)性(xìng)化(huà)系统采用(yòng)模块(kuài)化(huà)設計(jì)，可(kě)在(zài)各(gè)種(zhǒng)應(yìng)用(yòng)中(zhōng)實(shí)現(xiàn)較優觀察条(tiáo)件(jiàn)。結合儀景通(tòng)Stream图(tú)像分(fēn)析软(ruǎn)件(jiàn)使用(yòng)时(shí)，從觀察到(dào)生(shēng)成報告的(de)整个(gè)检測流程更(gèng)簡潔直(zhí)觀。
滿足电子行業需求
- 功能性(xìng)：滿足电子行業的(de)人(rén)體(tǐ)工學(xué)和(hé)安(ān)全(quán)性(xìng)要(yào)求而(ér)設計(jì)的(de)附加功能以(yǐ)增強(qiáng)分(fēn)析能力。
- 人(rén)性(xìng)化(huà)：簡潔的(de)显微鏡(jìng)設置使用(yòng)戶調整和(hé)再調用(yòng)系统配置變(biàn)得更(gèng)为(wèi)輕(qīng)松。
- 成熟的(de)成像技術(shù)：我(wǒ)们(men)成熟可(kě)靠的(de)光(guāng)學(xué)器件(jiàn)和(hé)成像技術(shù)可(kě)獲得清(qīng)晰图(tú)像，並(bìng)完成可(kě)靠检測。
- 模块(kuài)化(huà)：用(yòng)戶可(kě)通(tòng)过(guò)選擇适合其(qí)應(yìng)用(yòng)的(de)模块(kuài)進(jìn)行系统定(dìng)制。
分(fēn)析工具
MX63系列的(de)各(gè)種(zhǒng)觀察功能可(kě)生(shēng)成清(qīng)晰的(de)图(tú)像，讓用(yòng)戶能够对(duì)样品進(jìn)行可(kě)靠的(de)缺陷检測。全(quán)新(xīn)照明(míng)技術(shù)以(yǐ)及(jí)儀景通(tòng)Stream图(tú)像分(fēn)析软(ruǎn)件(jiàn)的(de)图(tú)像采集選項为(wèi)用(yòng)戶評估样品和(hé)存檔检測結果(guǒ)提(tí)供更(gèng)多(duō)選擇。
從不(bù)可(kě)見(jiàn)到(dào)可(kě)見(jiàn)：MIX觀察與(yǔ)采集
通(tòng)过(guò)暗(àn)场(chǎng)與(yǔ)明(míng)场(chǎng)、熒光(guāng)或(huò)偏光(guāng)等其(qí)他(tā)觀察方(fāng)法(fǎ)結合使用(yòng)，MIX觀察技術(shù)能够獲得特(tè)殊的(de)觀察图(tú)像。MIX觀察技術(shù)可(kě)讓用(yòng)戶發(fà)現(xiàn)用(yòng)傳统显微鏡(jìng)難以(yǐ)觀察的(de)缺陷。暗(àn)场(chǎng)觀察所(suǒ)用(yòng)的(de)环(huán)形LED照明(míng)器具有(yǒu)可(kě)四(sì)象(xiàng)限分(fēn)段照明(míng)的(de)定(dìng)向(xiàng)暗(àn)场(chǎng)功能。該功能可(kě)減少(shǎo)样品光(guāng)暈，有(yǒu)助于(yú)觀察样品的(de)表(biǎo)面(miàn)紋理(lǐ)。
輕(qīng)松生(shēng)成全(quán)景图(tú)像:即时(shí)MIA
利用(yòng)多(duō)图(tú)像拼接(MIA)功能, 用(yòng)戶移動(dòng)手(shǒu)動(dòng)载(zài)物(wù)台(tái)上(shàng)的(de)XY旋鈕即可(kě)輕(qīng)松快速地(dì)完成图(tú)像拼接—电動(dòng)载(zài)物(wù)台(tái)无需該操作(zuò)。儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)利用(yòng)图(tú)案(àn)識别生(shēng)成全(quán)景图(tú)像，讓用(yòng)戶獲得更(gèng)宽(kuān)的(de)視场(chǎng)。
生(shēng)成全(quán)聚焦图(tú)像:EFI
儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)的(de)擴展(zhǎn)聚焦成像(EFI) 功能可(kě)采集高(gāo)度超出(chū)景深範圍的(de)样品图(tú)像。EFI将这些(xiē)图(tú)像堆(duī)疊在(zài)一(yī)起(qǐ)生(shēng)成單幅全(quán)聚焦样品图(tú)像。EFI配合手(shǒu)動(dòng)或(huò)电動(dòng)Z軸载(zài)物(wù)台(tái)使用(yòng)，可(kě)輕(qīng)松生(shēng)成結構可(kě)視化(huà)的(de)高(gāo)度图(tú)像。EFI图(tú)像可(kě)在(zài)儀景通(tòng)Stream桌(zhuō)面(miàn)软(ruǎn)件(jiàn)內(nèi)離線(xiàn)生(shēng)成。
利用(yòng)HDR采集明(míng)亮(liàng)區(qū)域和(hé)暗(àn)光(guāng)區(qū)域
利用(yòng)成熟的(de)图(tú)像處(chù)理(lǐ)技術(shù)，高(gāo)動(dòng)态範圍(HDR)可(kě)在(zài)图(tú)像內(nèi)調整亮(liàng)度差异(yì)，以(yǐ)減少(shǎo)眩光(guāng)。HDR改善了數字图(tú)像的(de)視覺品質(zhì)，從而(ér)有(yǒu)助于(yú)生(shēng)成報告。
從基本(běn)測量(liàng)到(dào)分(fēn)析
測量(liàng)对(duì)于(yú)品質(zhì)、工藝控制和(hé)检測重(zhòng)要(yào)。基于(yú)这一(yī)想(xiǎng)法(fǎ)，即便入(rù)門(mén)级儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)包(bāo)也(yě)包(bāo)括交互測量(liàng)功能的(de)全(quán)部(bù)菜單，並(bìng)且(qiě)所(suǒ)有(yǒu)測量(liàng)結果(guǒ)與(yǔ)图(tú)像文件(jiàn)一(yī)起(qǐ)保存以(yǐ)便日(rì)後(hòu)調用(yòng)文檔。此(cǐ)外(wài)，儀景通(tòng)Stream材料解(jiě)決方(fāng)案(àn)可(kě)为(wèi)複雜图(tú)像分(fēn)析提(tí)供直(zhí)觀的(de)工作(zuò)流界面(miàn)。點(diǎn)擊按鈕，图(tú)像分(fēn)析任務(wù)即可(kě)快速完成。可(kě)大(dà)幅度縮減重(zhòng)複性(xìng)任務(wù)的(de)處(chù)理(lǐ)时(shí)間(jiān)，使操作(zuò)人(rén)員的(de)精力集中(zhōng)在(zài)检測工作(zuò)上(shàng)。
高(gāo)效的(de)報告創建
創建報告所(suǒ)用(yòng)的(de)时(shí)間(jiān)常常比采集图(tú)像和(hé)測量(liàng)還(huán)长(cháng)。儀景通(tòng)Stream软(ruǎn)件(jiàn)提(tí)供了直(zhí)觀的(de)報告創建功能，能够根(gēn)據(jù)預先(xiān)設定(dìng)的(de)模闆多(duō)次(cì)創建專業複雜的(de)報告。編輯簡單，報告可(kě)導出(chū)为(wèi)MicrosoftWord或(huò)PowerPoint文件(jiàn)。此(cǐ)外(wài)，儀景通(tòng)Stream報告功能能够对(duì)采集的(de)图(tú)像進(jìn)行數碼變(biàn)焦和(hé)倍率放大(dà)。報告文件(jiàn)大(dà)小适中(zhōng)，通(tòng)过(guò)电子邮(yóu)件(jiàn)進(jìn)行數據(jù)傳遞更(gèng)加方(fāng)便。
獨立相機(jī)選項
使用(yòng)DP22或(huò)DP27显微鏡(jìng)相機(jī)的(de)MX63系列是(shì)一(yī)套(tào)成熟的(de)獨立系统。該相機(jī)采用(yòng)几乎不(bù)占空間(jiān)的(de)緊湊型控制盒控制，在(zài)采集清(qīng)晰图(tú)像以(yǐ)及(jí)進(jìn)行基本(běn)測量(liàng)工作(zuò)的(de)同(tóng)时(shí)讓實(shí)验室(shì)空間(jiān)得到(dào)充分(fēn)利用(yòng)。
支持(chí)潔淨室(shì)合規性(xìng)的(de)設計(jì)
MX63系列專为(wèi)潔淨室(shì)工作(zuò)而(ér)設計(jì)，並(bìng)有(yǒu)效降低(dī)样品污染或(huò)受損的(de)風(fēng)險。該系统采用(yòng)人(rén)體(tǐ)工學(xué)設計(jì)，可(kě)帮助用(yòng)戶在(zài)长(cháng)时(shí)間(jiān)使用(yòng)中(zhōng)保持(chí)舒适。
選配晶圆(yuán)自(zì)動(dòng)搬送機(jī) — AL120系统*
選配的(de)晶圆(yuán)自(zì)動(dòng)搬送機(jī)可(kě)安(ān)裝(zhuāng)在(zài)MX63系列上(shàng)，實(shí)現(xiàn)无需使用(yòng)鑷子或(huò)工具即可(kě)安(ān)全(quán)地(dì)将矽及(jí)複合半導體(tǐ)晶圆(yuán)從晶圆(yuán)匣運送到(dào)显微鏡(jìng)载(zài)物(wù)台(tái)上(shàng)。良好(hǎo)的(de)性(xìng)能和(hé)可(kě)靠性(xìng)能够安(ān)全(quán)、高(gāo)效地(dì)对(duì)晶圆(yuán)正(zhèng)面(miàn)和(hé)背面(miàn)進(jìn)行宏觀检測，同(tóng)时(shí)搬送機(jī)還(huán)可(kě)帮助提(tí)高(gāo)實(shí)验室(shì)工作(zuò)效率。
*AL120系统未在(zài)欧洲(zhōu)上(shàng)市(shì)。AL120系统設計(jì)用(yòng)于(yú)要(yào)求EMC性(xìng)能的(de)工業环(huán)境。在(zài)住宅(zhái)环(huán)境使用(yòng)可(kě)能会(huì)影響到(dào)其(qí)他(tā)設備使用(yòng)。
MX63系统與(yǔ)AL120晶圆(yuán)自(zì)動(dòng)搬送機(jī)結合使用(yòng)(200毫(háo)米(mǐ)型号(hào))
快速、清(qīng)潔的(de)检測
MX63系列可(kě)實(shí)現(xiàn)无污染的(de)晶片(piàn)检測。所(suǒ)有(yǒu)电動(dòng)組件(jiàn)均安(ān)裝(zhuāng)在(zài)防護結構壳內(nèi)，显微鏡(jìng)鏡(jìng)架、鏡(jìng)筒、呼吸防護罩(zhào)、及(jí)其(qí)他(tā)部(bù)件(jiàn)均采用(yòng)防静(jìng)电處(chù)理(lǐ)。
电動(dòng)物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器的(de)轉(zhuǎn)速比手(shǒu)動(dòng)物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器更(gèng)快更(gèng)安(ān)全(quán)，縮短检測間(jiān)隔时(shí)間(jiān)的(de)同(tóng)时(shí)讓操作(zuò)人(rén)員的(de)手(shǒu)保持(chí)在(zài)晶圆(yuán)下(xià)方(fāng)，避免了潛在(zài)的(de)污染。
系统設計(jì)實(shí)現(xiàn)高(gāo)效觀察
利用(yòng)內(nèi)置離合和(hé)XY旋鈕，能够實(shí)現(xiàn)对(duì)载(zài)物(wù)台(tái)運動(dòng)的(de)粗(cū)調和(hé)微調。即便针对(duì)諸如(rú)300毫(háo)米(mǐ)晶片(piàn)这样的(de)大(dà)尺寸(cùn)样品，载(zài)物(wù)台(tái)也(yě)可(kě)帮助實(shí)現(xiàn)高(gāo)效的(de)觀察。
傾斜觀察鏡(jìng)筒的(de)擴展(zhǎn)範圍可(kě)讓操作(zuò)人(rén)員以(yǐ)舒适的(de)姿态坐在(zài)显微鏡(jìng)前(qián)工作(zuò)。
适合所(suǒ)有(yǒu)晶圆(yuán)尺寸(cùn)
該系统可(kě)配合各(gè)類(lèi)150–200毫(háo)米(mǐ)和(hé)200– 300毫(háo)米(mǐ)晶圆(yuán)托架和(hé)玻璃台(tái)闆使用(yòng)。如(rú)果(guǒ)生(shēng)産線(xiàn)上(shàng)的(de)晶圆(yuán)尺寸(cùn)發(fà)生(shēng)變(biàn)化(huà)，可(kě)更(gèng)改载(zài)物(wù)台(tái)或(huò)鏡(jìng)架。有(yǒu)了MX63系列，各(gè)種(zhǒng)载(zài)物(wù)台(tái)均可(kě)用(yòng)于(yú)检測75毫(háo)米(mǐ)、100毫(háo)米(mǐ)、125 毫(háo)米(mǐ)和(hé)150毫(háo)米(mǐ)晶圆(yuán)。
晶圆(yuán)托架和(hé)玻璃台(tái)闆
全(quán)面(miàn)可(kě)定(dìng)制
MX63系列設計(jì)用(yòng)于(yú)讓用(yòng)戶能够選擇各(gè)種(zhǒng)光(guāng)學(xué)器件(jiàn)滿足其(qí)特(tè)定(dìng)的(de)检測和(hé)應(yìng)用(yòng)需求。該系统可(kě)使用(yòng)所(suǒ)有(yǒu)觀察方(fāng)法(fǎ)。用(yòng)戶還(huán)可(kě)從一(yī)系列的(de)儀景通(tòng)Stream图(tú)像分(fēn)析软(ruǎn)件(jiàn)包(bāo)中(zhōng)進(jìn)行選擇，以(yǐ)滿足其(qí)特(tè)定(dìng)的(de)图(tú)像采集和(hé)分(fēn)析需求。
两(liǎng)个(gè)系统兼容多(duō)種(zhǒng)样品規格
MX63系统能够检測尺寸(cùn)达(dá)200毫(háo)米(mǐ)的(de)晶圆(yuán)，而(ér)MX63L更(gèng)大(dà)可(kě)检測300毫(háo)米(mǐ)的(de)晶圆(yuán)，两(liǎng)款有(yǒu)相同(tóng)的(de)較小占用(yòng)空間(jiān)。MX63系列的(de)模块(kuài)化(huà)設計(jì)可(kě)輕(qīng)松地(dì)根(gēn)據(jù)您的(de)需求定(dìng)制显微鏡(jìng)。
MX63 MX63L
紅(hóng)外(wài)兼容性(xìng)
紅(hóng)外(wài)觀察可(kě)利用(yòng)紅(hóng)外(wài)物(wù)鏡(jìng)實(shí)現(xiàn)，該物(wù)鏡(jìng)可(kě)用(yòng)于(yú)透过(guò)矽材料成像讓操作(zuò)人(rén)員實(shí)現(xiàn)对(duì)封(fēng)裝(zhuāng)和(hé)安(ān)裝(zhuāng)在(zài)印(yìn)刷电路(lù)闆上(shàng)的(de)集成电路(lù)芯片(piàn)內(nèi)部(bù)進(jìn)行无損检測。5X到(dào)100X紅(hóng)外(wài)物(wù)鏡(jìng)可(kě)實(shí)現(xiàn)從可(kě)見(jiàn)光(guāng)波(bō)长(cháng)到(dào)近(jìn)紅(hóng)外(wài)波(bō)长(cháng)的(de)色(sè)差校(xiào)正(zhèng)。
紅(hóng)外(wài)物(wù)鏡(jìng) 常規图(tú)像 采用(yòng)色(sè)差校(xiào)正(zhèng)的(de)图(tú)像
按您自(zì)己的(de)要(yào)求打(dǎ)造儀景通(tòng)系统
显微鏡(jìng)鏡(jìng)架
有(yǒu)两(liǎng)種(zhǒng)显微鏡(jìng)鏡(jìng)架；一(yī)種(zhǒng)可(kě)容納200毫(háo)米(mǐ)的(de)晶圆(yuán)，另一(yī)種(zhǒng)可(kě)容納300毫(háo)米(mǐ)的(de)晶圆(yuán)。諸如(rú)聚焦輔助功能和(hé)呼吸防護罩(zhào)等配件(jiàn)可(kě)提(tí)高(gāo)您的(de)检測效率。
鏡(jìng)筒
用(yòng)于(yú)通(tòng)过(guò)目鏡(jìng)觀察图(tú)像或(huò)者(zhě)利用(yòng)相機(jī)進(jìn)行觀察，根(gēn)據(jù)成像類(lèi)型和(hé)操作(zuò)者(zhě)在(zài)觀察过(guò)程中(zhōng)的(de)姿勢選擇鏡(jìng)筒。
目鏡(jìng)
目鏡(jìng)可(kě)讓用(yòng)戶通(tòng)过(guò)显微鏡(jìng)進(jìn)行直(zhí)接觀察。根(gēn)據(jù)視场(chǎng)要(yào)求選擇。
载(zài)物(wù)台(tái)
载(zài)物(wù)台(tái)和(hé)载(zài)物(wù)台(tái)闆可(kě)用(yòng)于(yú)放置样品；根(gēn)據(jù)您样品的(de)大(dà)小和(hé)形狀進(jìn)行選擇。
光(guāng)源
光(guāng)源和(hé)电源用(yòng)于(yú)为(wèi)样品照明(míng)。根(gēn)據(jù)觀察方(fāng)法(fǎ)選擇适當的(de)光(guāng)源。
物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器
安(ān)裝(zhuāng)物(wù)鏡(jìng)和(hé)滑块(kuài)。根(gēn)據(jù)所(suǒ)需的(de)物(wù)鏡(jìng)數量(liàng)及(jí)類(lèi)型以(yǐ)及(jí)是(shì)否需要(yào)滑块(kuài)選擇物(wù)鏡(jìng)轉(zhuǎn)換器
滑块(kuài)
選擇滑块(kuài)彌補傳统明(míng)场(chǎng)觀察不(bù)足。DIC滑块(kuài)可(kě)提(tí)供有(yǒu)關(guān)样品的(de)形貌信(xìn)息，並(bìng)可(kě)選更(gèng)大(dà)化(huà)对(duì)比度或(huò)分(fēn)辨率。MIX滑块(kuài)利用(yòng)暗(àn)场(chǎng)路(lù)徑上(shàng)的(de)分(fēn)段LED光(guāng)源實(shí)現(xiàn)照明(míng)靈活性(xìng)。
