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OLS5000激光(guāng)共焦显微鏡(jìng)可(kě)測量(liàng)形貌和(hé)表(biǎo)面(miàn)粗(cū)糙度。數據(jù)采集比奧林(lín)巴斯以(yǐ)前(qián)的(de)显微鏡(jìng)型号(hào)快四(sì)倍，從而(ér)大(dà)大(dà)提(tí)高(gāo)了生(shēng)産效率。

	1.成像捕捉任意(yì)表(biǎo)面(miàn)形貌。
	2.快速检測獲得數據(jù)的(de)速度比奧林(lín)巴斯以(yǐ)前(qián)的(de)显微鏡(jìng)型号(hào)快四(sì)倍。
	3.便捷操作(zuò) 只(zhī)需放好(hǎo)样品按下(xià)按鈕即可(kě)。
	4.适用(yòng)于(yú)大(dà)尺寸(cùn)样品測量(liàng)的(de)大(dà)行程測量(liàng)高(gāo)达(dá)210毫(háo)米(mǐ)的(de)样品。

高(gāo)分(fēn)辨率成像

凭借(jiè)对(duì)各(gè)種(zhǒng)類(lèi)型样品進(jìn)行3D測量(liàng)的(de)能力，系统可(kě)提(tí)供用(yòng)于(yú)質(zhì)量(liàng)保證和(hé)工藝控制的(de)數據(jù)。

橫向(xiàng)分(fēn)辨率

	405納米(mǐ)紫色(sè)激光(guāng)和(hé)專用(yòng)高(gāo)數值孔徑物(wù)鏡(jìng)可(kě)以(yǐ)捕捉到(dào)傳统光(guāng)學(xué)显微鏡(jìng)、白(bái)光(guāng)干(gàn)涉儀或(huò)紅(hóng)色(sè)激光(guāng)显微鏡(jìng)難以(yǐ)發(fà)現(xiàn)的(de)紋理(lǐ)和(hé)缺陷。

	紅(hóng)光(guāng)型（658納米(mǐ)：0.26微米(mǐ)空間(jiān))	微米(mǐ)紫光(guāng)型（405納米(mǐ)：0.12線(xiàn)和(hé)空間(jiān))

一(yī)致(zhì)的(de)測量(liàng)值

LEXT專用(yòng)物(wù)鏡(jìng)可(kě)測量(liàng)采用(yòng)其(qí)他(tā)方(fāng)式測量(liàng)会(huì)發(fà)生(shēng)畸變(biàn)的(de)周邊(biān)區(qū)域。

一(yī)致(zhì)的(de)測量(liàng)值

傳统物(wù)鏡(jìng)

LEXT物(wù)鏡(jìng)

新(xīn)開(kāi)發(fà)的(de)MEMS扫描振鏡(jìng)

新(xīn)的(de)MEMS扫描振鏡(jìng)具有(yǒu)較低(dī)的(de)扫描軌迹失真(zhēn)和(hé)較小的(de)光(guāng)學(xué)像差，可(kě)進(jìn)行X-Y扫描。

4K扫描技術(shù)

4K扫描技術(shù)可(kě)在(zài)X軸方(fāng)向(xiàng)扫描4096像素，是(shì)奧林(lín)巴斯以(yǐ)前(qián)显微鏡(jìng)型号(hào)的(de)四(sì)倍。
OLS5000显微鏡(jìng)可(kě)在(zài)无需進(jìn)行图(tú)像校(xiào)正(zhèng)的(de)情(qíng)況下(xià)检測几乎垂直(zhí)的(de)陡峭斜面(miàn)以(yǐ)及(jí)低(dī)的(de)台(tái)階(jiē)。

捕獲真(zhēn)實(shí)形貌

由(yóu)于(yú)傳统激光(guāng)显微鏡(jìng)采用(yòng)諸如(rú)平滑消除噪聲等标(biāo)準图(tú)像處(chù)理(lǐ)技術(shù)，其(qí)有(yǒu)时(shí)会(huì)将測得的(de)细(xì)微高(gāo)度不(bù)規則測量(liàng)數據(jù)連(lián)同(tóng)噪聲一(yī)起(qǐ)消除。
OLS5000显微鏡(jìng)采用(yòng)奧林(lín)巴斯自(zì)動(dòng)检測可(kě)靠數據(jù)的(de)智能判别算法(fǎ)，可(kě)在(zài)不(bù)丢失细(xì)微高(gāo)度不(bù)規則測量(liàng)數據(jù)的(de)情(qíng)況下(xià)實(shí)現(xiàn)測量(liàng)。

其(qí)他(tā)高(gāo)分(fēn)辨率測量(liàng)技術(shù)

MEMS扫描PEAK算法(fǎ)
双(shuāng)共焦系统
Sq噪聲（測量(liàng)噪聲）保證
準确性(xìng)和(hé)重(zhòng)複性(xìng)可(kě)保證
混合匹(pǐ)配算法(fǎ)
混合阻尼機(jī)構
HDR扫描

靈活：可(kě)測量(liàng)尺寸(cùn)較大(dà)的(de)样品

可(kě)測量(liàng)高(gāo)210毫(háo)米(mǐ)的(de)样品

OLS5000显微鏡(jìng)的(de)擴展(zhǎn)架可(kě)容納达(dá)210毫(háo)米(mǐ)的(de)样品，而(ér)长(cháng)工作(zuò)距離物(wù)鏡(jìng)能够測量(liàng)深度达(dá)到(dào)25毫(háo)米(mǐ)的(de)凹坑。
在(zài)進(jìn)行这两(liǎng)種(zhǒng)測量(liàng)时(shí)，您只(zhī)需将样品放在(zài)载(zài)物(wù)台(tái)上(shàng)即可(kě)。

連(lián)杆

刀(dāo)具

活塞头

LEXT用(yòng)长(cháng)工作(zuò)距離物(wù)鏡(jìng)

奧林(lín)巴斯可(kě)提(tí)供能够针对(duì)405納米(mǐ)激光(guāng)減小像差的(de)10x至(zhì)100x系列物(wù)鏡(jìng)。本(běn)系列還(huán)包(bāo)括低(dī)倍率和(hé)长(cháng)工作(zuò)距離物(wù)鏡(jìng)。所(suǒ)有(yǒu)LEXT專用(yòng)物(wù)鏡(jìng)均可(kě)确保測量(liàng)性(xìng)能，由(yóu)此(cǐ)可(kě)以(yǐ)選擇适合您所(suǒ)觀察样品的(de)一(yī)款物(wù)鏡(jìng)。

Rubert & Co标(biāo)準粗(cū)糙度样闆528 (Pt = 1.5微米(mǐ))

常規物(wù)鏡(jìng)（50X）

LEXT專用(yòng)物(wù)鏡(jìng)（50X）

超长(cháng)工作(zuò)距離物(wù)鏡(jìng)

主(zhǔ)機(jī)

型号(hào)		OLS5000-SAF	OLS5000-SMF	OLS5000-LAF	OLS5000-EAF	OLS5000-EMF
總(zǒng)倍率		54x - 17,280x
視场(chǎng)直(zhí)徑		16um - 5,120um
幀率（激光(guāng)觀察）[fps]		3.25 / 55.6
幀率 (彩色(sè)觀察) [FPS]		30
測量(liàng)原理(lǐ)	光(guāng)學(xué)系统	反(fǎn)射式共焦激光(guāng)扫描激光(guāng)显微鏡(jìng)
		反(fǎn)射式共焦激光(guāng)扫描激光(guāng)-DIC显微鏡(jìng)
		彩色(sè)
		彩色(sè)-DIC
	光(guāng)接收(shōu)元(yuán)件(jiàn)	激光(guāng)：光(guāng)电倍增管(guǎn)（2ch）彩色(sè)：CMOS彩色(sè)相機(jī)
高(gāo)度測量(liàng)	显示分(fēn)辨率	0.5納米(mǐ)
	光(guāng)栅尺	0.78納米(mǐ)
	動(dòng)态範圍	16位
	可(kě)重(zhòng)複性(xìng)σ 1 2 *5 n-1	5X：0.45μm, 10X：0.1μm, 20X : 0.03μm, 50X : 0.012μm, 100X : 0.012μm
	正(zhèng)确性(xìng) 1 3 *5	0.15+L/100微米(mǐ)(L:測量(liàng)值[毫(háo)米(mǐ)]）
	拼接图(tú)像正(zhèng)确性(xìng) 1 3 *5	10X：5.0 + L/100μm, 20X以(yǐ)上(shàng) : 1.0 + L/100μm （L: 測量(liàng)长(cháng)度[μm]）
	測量(liàng)噪聲（Sq噪聲） 1 4 *5	1納米(mǐ)
宽(kuān)度測量(liàng)	显示分(fēn)辨率	1納米(mǐ)
	可(kě)重(zhòng)複性(xìng) 3σn-1 1 2 *5	5X：0.4μm, 10X：0.2μm, 20X：0.05μm, 50X : 0.04μm, 100X : 0.02μm
	精度 1 3 *5	測量(liàng)值+/- 1.5％
	拼接图(tú)像精度 1 3 *5	10X : 24+0.5L μm, 20X : 15+0.5L μm, 50X : 9+0.5L μm, 100X : 7+0.5L μm (L: 拼接长(cháng)度 [mm])
單次(cì)測量(liàng)时(shí)測量(liàng)點(diǎn)的(de)數量(liàng)		4096 x 4096像素
測量(liàng)點(diǎn)的(de)數量(liàng)		3600万(wàn)像素
XY载(zài)物(wù)台(tái)配置	长(cháng)度測量(liàng)模块(kuài)	•	不(bù)适用(yòng)	不(bù)适用(yòng)	•	不(bù)适用(yòng)
	工作(zuò)範圍	100×100毫(háo)米(mǐ)电動(dòng)	100×100毫(háo)米(mǐ)手(shǒu)動(dòng)	300 X300毫(háo)米(mǐ)电動(dòng)	100×100毫(háo)米(mǐ)电動(dòng)	100×100毫(háo)米(mǐ)手(shǒu)動(dòng)
样品高(gāo)度		100毫(háo)米(mǐ)	40毫(háo)米(mǐ)	37毫(háo)米(mǐ)	210 毫(háo)米(mǐ)	150毫(háo)米(mǐ)
激光(guāng)光(guāng)源	波(bō)长(cháng)	405納米(mǐ)
	輸出(chū)	0.95毫(háo)瓦(wǎ)
	激光(guāng)分(fēn)類(lèi)	2類(lèi)（IEC60825-1：2007，IEC60825-1：2014）
彩色(sè)光(guāng)源		白(bái)光(guāng)LED
电气(qì)功率		240瓦(wǎ)	240瓦(wǎ)	278瓦(wǎ)	240瓦(wǎ)	240瓦(wǎ)
質(zhì)量(liàng)	显微鏡(jìng)主(zhǔ)體(tǐ)	約31公(gōng)斤(jīn)	約32公(gōng)斤(jīn)	約50公(gōng)斤(jīn)	約43公(gōng)斤(jīn)	約44公(gōng)斤(jīn)
	控制箱(xiāng)	約12公(gōng)斤(jīn)

* 1 在(zài)ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規定(dìng)的(de)恒温(wēn)恒湿(shī)环(huán)境下(xià)使用(yòng)时(shí)提(tí)供保證（温(wēn)度：20˚C±1˚C, 湿(shī)度:50％±1％）。
* 2 在(zài)使用(yòng)MPLAPON LEXT 系列物(wù)鏡(jìng)測量(liàng)时(shí)超过(guò)20次(cì)。
* 3 在(zài)使用(yòng)LEXT專用(yòng)物(wù)鏡(jìng)測量(liàng)时(shí)。
* 4 在(zài)使用(yòng)MPLAPON100XLEXT 物(wù)鏡(jìng)測量(liàng)时(shí)的(de)典型值。
* 5 基于(yú)奧林(lín)巴斯認證體(tǐ)系保證。

物(wù)鏡(jìng)技術(shù)規格

系列	型号(hào)	數值孔徑（NA）	工作(zuò)距離（WD）（毫(háo)米(mǐ)）
UIS2物(wù)鏡(jìng)	MPLFLN2.5x	0.08	10.7
UIS2物(wù)鏡(jìng)	MPLFLN5x	0.15	20
LEXT專用(yòng)物(wù)鏡(jìng)（10X）	MPLFLN10xLEXT	0.3	10.4
LEXT專用(yòng)物(wù)鏡(jìng)（10X）	MPLAPON20xLEXT	0.6	1
LEXT專用(yòng)物(wù)鏡(jìng)（高(gāo)性(xìng)能型)	MPLAPON50xLEXT	0.95	0.35
	MPLAPON100xLEXT	0.95	0.35
	LMPLFLN20xLEXT	0.45	6.5
LEXT專用(yòng)物(wù)鏡(jìng)（长(cháng)工作(zuò)距離型）	LMPLFLN50xLEXT	0.6	5
	LMPLFLN100xLEXT	0.8	3.4
	SLMPLN20x	0.25	25
超长(cháng)工作(zuò)距離物(wù)鏡(jìng)	SLMPLN50x	0.35	18
	SLMPLN100x	0.6	7.6
	LCPLFLN20xLCD	0.45	8.3-7.4
适用(yòng)于(yú)LCD透鏡(jìng)的(de)长(cháng)工作(zuò)距離	LCPLFLN50xLCD	0.7	3.0-2.2
适用(yòng)于(yú)LCD透鏡(jìng)的(de)长(cháng)工作(zuò)距離	LCPLFLN100xLCD	0.85	1.2-0.9

應(yìng)用(yòng)软(ruǎn)件(jiàn)

标(biāo)準软(ruǎn)件(jiàn)	OLS50-BSW	數據(jù)采集app 分(fēn)析app (簡單分(fēn)析)
电動(dòng)载(zài)物(wù)台(tái)套(tào)裝(zhuāng)應(yìng)用(yòng)*1	OLS50-S-MSP
擴展(zhǎn)分(fēn)析應(yìng)用(yòng)*2	OLS50-S-AA
薄膜厚度測量(liàng)	OLS50-S-FT
自(zì)動(dòng)邊(biān)緣測量(liàng)應(yìng)用(yòng)	OLS50-S-ED
颗粒(lì)物(wù)分(fēn)析應(yìng)用(yòng)	OLS50-S-PA
多(duō)文件(jiàn)分(fēn)析應(yìng)用(yòng)	OLS50-S-MA
球體(tǐ)/圆(yuán)柱(zhù)體(tǐ)表(biǎo)面(miàn)角(jiǎo)度分(fēn)析應(yìng)用(yòng)	OLS50-S-SA

* 1包(bāo)括自(zì)動(dòng)拼接數據(jù)采集和(hé)多(duō)區(qū)域數據(jù)采集功能。
* 2包(bāo)括轮廓分(fēn)析、差值分(fēn)析、台(tái)階(jiē)高(gāo)度分(fēn)析、表(biǎo)面(miàn)分(fēn)析、面(miàn)積/體(tǐ)積分(fēn)析、線(xiàn)粗(cū)糙度分(fēn)析、面(miàn)粗(cū)糙度分(fēn)析和(hé)直(zhí)方(fāng)图(tú)分(fēn)析。