獲取(qǔ)图(tú)像或(huò)3D图(tú)像
EFI: 即使表(biǎo)面(miàn)凹凸不(bù)平的(de)样品,也(yě)可(kě)獲得整个(gè)样品全(quán)部(bù)聚焦清(qīng)晰的(de)超景深图(tú)像
借(jiè)助于(yú)其(qí)EFI(景深擴展(zhǎn)成像)功能,仅需點(diǎn)擊一(yī)下(xià)鼠标(biāo),DSX110便可(kě)獲得整个(gè)样品都对(duì)焦清(qīng)晰的(de)图(tú)像。在(zài)EFI(景深擴展(zhǎn)成像)过(guò)程中(zhōng),随着焦點(diǎn)位置的(de)上(shàng)下(xià)移動(dòng),采集多(duō)张(zhāng)不(bù)同(tóng)焦點(diǎn)位置的(de)图(tú)像。在(zài)这些(xiē)图(tú)像中(zhōng),样品上(shàng)聚焦清(qīng)晰的(de)各(gè)部(bù)分(fēn)会(huì)被(bèi)提(tí)取(qǔ)出(chū)来(lái)合成一(yī)幅整个(gè)样品都聚焦清(qīng)晰的(de)图(tú)像,實(shí)現(xiàn)对(duì)凹凸不(bù)平的(de)样品的(de)检查。Olympus的(de)EFI图(tú)像采集速度比以(yǐ)往快了許多(duō)。

燈(dēng)丝(sī)
實(shí)时(shí)全(quán)景摄影,快速獲得超大(dà)視野图(tú)像
再也(yě)不(bù)会(huì)出(chū)現(xiàn)“超出(chū)觀察視野”的(de)問(wèn)題(tí)了。通(tòng)过(guò)實(shí)时(shí)全(quán)景摄影,簡單移動(dòng)屏幕上(shàng)的(de)样品觀察位置,电動(dòng)载(zài)物(wù)台(tái)就(jiù)会(huì)移動(dòng)样品至(zhì)指定(dìng)位置。随着载(zài)物(wù)台(tái)的(de)移動(dòng),系统会(huì)實(shí)时(shí)地(dì)自(zì)動(dòng)拼接多(duō)幅图(tú)像,並(bìng)縫合成一(yī)幅大(dà)視野的(de)图(tú)像。
自(zì)動(dòng)全(quán)景摄影: 仅需點(diǎn)擊一(yī)下(xià)鼠标(biāo),便可(kě)獲得大(dà)視野图(tú)像
仅需将样品放置在(zài)载(zài)物(wù)台(tái)上(shàng),然後(hòu)點(diǎn)擊一(yī)下(xià)啟動(dòng)程序。载(zài)物(wù)台(tái)即以(yǐ)螺旋形移動(dòng)並(bìng)自(zì)動(dòng)拍摄所(suǒ)需的(de)样品區(qū)域。

自(zì)動(dòng)图(tú)像拼接獲取(qǔ)高(gāo)質(zhì)量(liàng)、高(gāo)附加值的(de)图(tú)像
高(gāo)質(zhì)量(liàng)全(quán)景摄影
只(zhī)需根(gēn)據(jù)图(tú)像拼接的(de)數量(liàng)、样品长(cháng)度和(hé)图(tú)像拼接起(qǐ)始(shǐ)點(diǎn)設定(dìng)拼接模式,然後(hòu)啟動(dòng)图(tú)像拼接程序,即可(kě)按照設定(dìng)的(de)模式執行图(tú)像拼接,並(bìng)同(tóng)时(shí)進(jìn)行阴影校(xiào)正(zhèng),生(shēng)成一(yī)幅高(gāo)質(zhì)量(liàng)、高(gāo)附加值的(de)图(tú)像。
EFI景深擴展(zhǎn)成像和(hé)3D成像的(de)图(tú)像拼接
高(gāo)質(zhì)量(liàng)全(quán)景摄影功能還(huán)可(kě)以(yǐ)和(hé)EFI景深擴展(zhǎn)成像、3D成像相結合。在(zài)大(dà)視野範圍內(nèi)对(duì)凹凸不(bù)平的(de)样品進(jìn)行超景深的(de)图(tú)像拼接以(yǐ)及(jí)3D图(tú)像拼接。

大(dà)量(liàng)數據(jù)的(de)自(zì)動(dòng)獲取(qǔ)
程序化(huà)菜單: 对(duì)样品上(shàng)多(duō)个(gè)注册(cè)位置的(de)自(zì)動(dòng)拍摄
通(tòng)过(guò)便捷的(de)程序化(huà)菜單功能,DSX110可(kě)在(zài)自(zì)動(dòng)对(duì)焦下(xià)、对(duì)样品上(shàng)的(de)多(duō)个(gè)注册(cè)位置進(jìn)行自(zì)動(dòng)拍摄。
丰富的(de)測量(liàng)功能
确保測量(liàng)結果(guǒ)
DSX110的(de)基本(běn)操作(zuò)软(ruǎn)件(jiàn)和(hé)3D測量(liàng)软(ruǎn)件(jiàn)几乎具備了工業显微鏡(jìng)的(de)所(suǒ)有(yǒu)測量(liàng)功能,通(tòng)过(guò)簡單的(de)操作(zuò)便可(kě)獲得測量(liàng)結果(guǒ)。除基本(běn)软(ruǎn)件(jiàn)外(wài),另有(yǒu)三(sān)維測量(liàng)、卡尺測量(liàng)和(hé)颗粒(lì)分(fēn)析等選裝(zhuāng)软(ruǎn)件(jiàn)。

面(miàn)積/體(tǐ)積測量(liàng) 卡尺測量(liàng) 高(gāo)度差測量(liàng) 實(shí)时(shí)測量(liàng)

颗粒(lì)分(fēn)析 線(xiàn)粗(cū)糙度測量(liàng) 表(biǎo)面(miàn)粗(cū)糙度測量(liàng) 平面(miàn)几何測量(liàng)
所(suǒ)有(yǒu)數據(jù)均可(kě)實(shí)現(xiàn)百分(fēn)百共享
生(shēng)成用(yòng)戶報告更(gèng)为(wèi)簡單
DSX110使一(yī)切(qiè)變(biàn)得簡單。操作(zuò)者(zhě)只(zhī)需專注于(yú)图(tú)像采集、觀察和(hé)測量(liàng),DSX110自(zì)動(dòng)生(shēng)成相關(guān)報告。報告模闆可(kě)完全(quán)自(zì)定(dìng)義化(huà)。

仅需點(diǎn)擊鼠标(biāo)即可(kě)生(shēng)成報告 報告輸出(chū)
DSX110 規格
*1 50 mm:與(yǔ)DSX-UFSSU組合时(shí)(不(bù)包(bāo)括BH2-WHR43/晶圆(yuán)托盤)
*2 20 mm:與(yǔ)DSX-UFSSU組合时(shí)(不(bù)包(bāo)括BH2-WHR43/晶圆(yuán)托盤)
*3 需要(yào)安(ān)裝(zhuāng)DSX-WZ-STAD
DSX110 物(wù)鏡(jìng)
*1 图(tú)像画(huà)面(miàn)显示1:1对(duì)角(jiǎo)線(xiàn)(出(chū)廠(chǎng)默認值) *2 图(tú)像画(huà)面(miàn)显示1:1
*3 123 mm: 如(rú)果(guǒ)與(yǔ)DSX-POAD1X組合 *4 35 mm: 如(rú)果(guǒ)與(yǔ)DSX-POAD3.6X組合